Математическое моделирование начальной стадии процесса ионной имплантации; Известия вузов. Физика; Т. 58, № 6-2
| Parent link: | Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 58, № 6-2.— 2015.— [С. 226-230] |
|---|---|
| Hovedforfatter: | |
| Institution som forfatter: | |
| Summary: | Заглавие с экрана Представлена изотермическая модель начальной стадии процесса внедрения ионов в поверхность металла. Исследована взаимозависимость концентрации внедряемой примеси и упругих напряжений, возникающих вследствие удара частиц о поверхность подложки. Учитывается генерация вакансий в обрабатываемом материале. The model is presented to describe the initial stage of ion implantation into the surface layer of metal. The interdependence of implemented impurity concentration and elastic stresses arising from the impact of particles on the surface is investigated. Take into account the generation of vacancies. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Sprog: | russisk |
| Udgivet: |
2015
|
| Fag: | |
| Online adgang: | http://elibrary.ru/item.asp?id=24449599 |
| Format: | MixedMaterials Electronisk Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=645960 |
MARC
| LEADER | 00000nla0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 645960 | ||
| 005 | 20250401115502.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\network\11065 | ||
| 090 | |a 645960 | ||
| 100 | |a 20160205d2015 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Математическое моделирование начальной стадии процесса ионной имплантации |d Mathematical modeling of ion implantation process |f Е. С. Парфёнова | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: 6 назв.] | ||
| 330 | |a Представлена изотермическая модель начальной стадии процесса внедрения ионов в поверхность металла. Исследована взаимозависимость концентрации внедряемой примеси и упругих напряжений, возникающих вследствие удара частиц о поверхность подложки. Учитывается генерация вакансий в обрабатываемом материале. | ||
| 330 | |a The model is presented to describe the initial stage of ion implantation into the surface layer of metal. The interdependence of implemented impurity concentration and elastic stresses arising from the impact of particles on the surface is investigated. Take into account the generation of vacancies. | ||
| 333 | |a Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса | ||
| 461 | |t Известия вузов. Физика |o научный журнал |f Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ) |d 1957- | ||
| 463 | |t Т. 58, № 6-2 |v [С. 226-230] |d 2015 | ||
| 510 | 1 | |a Mathematical modeling of ion implantation process |z eng | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a ионная имплантация | |
| 610 | 1 | |a диффузия | |
| 610 | 1 | |a концентрация | |
| 610 | 1 | |a примеси | |
| 610 | 1 | |a упругие волны | |
| 610 | 1 | |a связанные модели | |
| 700 | 1 | |a Парфёнова |b Е. С. |c инженер Томского политехнического университета |c химик-технолог |f 1989- |g Елена Сергеевна |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\32757 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |b Институт физики высоких технологий (ИФВТ) |b Учебно-научная межотраслевая междисциплинарная лаборатория "Моделирование физико-химических процессов в современных технологиях" (УНММЛ "МФХПСТ") |3 (RuTPU)RU\TPU\col\19311 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20160205 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://elibrary.ru/item.asp?id=24449599 | |
| 942 | |c CF | ||