Macroparticles number density decreasing on a substrate immersed in vacuum arc plasma at repetitively pulsed biasing; Известия вузов. Физика; Т. 57, № 12/3

Macroparticles number density decreasing on a substrate immersed in vacuum arc plasma at repetitively pulsed biasing; Известия вузов. Физика; Т. 57, № 12/3

Библиографические подробности
Источник:	Известия вузов. Физика: научный журнал.— , 1957- Т. 57, № 12/3.— 2014.— [P. 259-262]
Корпоративные авторы:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Лаборатория № 22, Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Центр измерений свойств материалов (ЦИСМ)
Другие авторы:	Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich, Sivin D. O. Denis Olegovich, Bumagina A. I. Anna Ivanovna, Ananin P. S. Petr Semenovich, Dektyarev S. V. Sergey Valentinovich
Примечания:	Title screen The objective of this investigation was to study the physical mechanisms of macroparticles (MPs) number density decreasing on a substrate immersed in a vacuum arc plasma. It was found that negative repetitively pulsed biasing of the substrate significantly reduced the MPs content on surface. Several different physical mechanisms for the MPs decreasing have been identified. It was established that up to 10 % of the MPs are repelled by the sheath electric field. Reduction of MPs density by almost 20 % is attributable to ion sputtering after 2 min of processing. It was found that enhanced ion sputtering, MPs evaporation on substrate surface, and even evaporation of MPs in a sheath, can take place depending on the cathode material and the irradiation parameters. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Язык:	английский
Опубликовано:	2014
Предметы:	электронный ресурс труды учёных ТПУ вакуумно-дуговые источники макрочастицы
Online-ссылка:	http://elibrary.ru/item.asp?id=23815795
Формат:	Электронный ресурс Статья
Запись в KOHA:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=644268

Схожие документы

Control of Vacuum Arc Macroparticles by High-Frequency Short-Pulsed Negative Bias Application; Indian Journal of Science and Technology; Vol. 8, iss. 36
по: Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich
Опубликовано: (2015)

Joint influence of steered vacuum arc and negative repetitively pulsed bias on titanium macroparticles suppression; Surface and Coatings Technology; Vol. 355
Опубликовано: (2018)

Influence of negative bias pulse parameters on accumulation of macroparticles on the substrate immersed in titanium vacuum arc plasma; Surface and Coatings Technology; Vol. 306, Pt. A : Surface Modification of Materials by Ion Beams [SMMIB2015]
Опубликовано: (2016)

Tangential cathode magnetic field and substrate bias influence on copper vacuum arc macroparticle content decreasing; Surface and Coatings Technology; Vol. 306, Pt. A : Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB 2015)
Опубликовано: (2016)

Investigation of Negative Bias Pulse Parameters Influence to Macroparticles Accumulation on Substrate Immersed in Titanium Vacuum Arc Plasma; The 19th International Conference on Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2015), November 22-27, 2015, The Empress Hotel, Chiang Mai, Thailand
Опубликовано: (2015)

Tangential Cathode Magnetic Field and Substrate Bias Influence on Copper Vacuum Arc Macroparticle Content Decreasing; The 19th International Conference on Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2015), November 22-27, 2015, The Empress Hotel, Chiang Mai, Thailand
Опубликовано: (2015)

Control of vacuum arc macroparticles by negative repetitively pulsed biasing; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине
Опубликовано: (2015)

A vacuum arc cathode magnetic field and a substrate bias influence on a macroparticle content decreasing; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине
Опубликовано: (2015)

Joint influence of steered vacuum arc and negative repetitively pulsed bias on titanium macroparticles suppression; Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2016)
Опубликовано: (2016)

Application of a Tangential Magnetic Field and Negative Repetitively Pulsed Bias for Suppression of Vacuum-Arc Copper Macroparticles; Russian Physics Journal; Vol. 59, iss. 6
по: Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich
Опубликовано: (2016)

Joint Influence of Steered Vacuum Arc and Negative Repetitively Pulsed Bias on Macroparticles Suppression; The 19th International Conference on Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2015), November 22-27, 2015, The Empress Hotel, Chiang Mai, Thailand
Опубликовано: (2015)

Influence of Repetitively Pulsed Negative Bias Parameters on Macroparticle Surface Density; Journal of Industrial Pollution Control; Vol. 32, iss. 2
Опубликовано: (2016)

Filtered Vacuum Arc Plasma Application For Ion-Beam and Plasma Material Processing; The 19th International Conference on Surface Modification of Materials by Ion Beams (SMMIB-2015), November 22-27, 2015, The Empress Hotel, Chiang Mai, Thailand
Опубликовано: (2015)

Aluminium vacuum arc plasma application for intermetallic layers formation using plasma immersion ion implantation method; Известия вузов. Физика; Т. 57, № 12/3
по: Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich
Опубликовано: (2014)

Influence of the plasma-immersion ion implantation of titanium on the structure, morphology, and composition of the surface layer of Zr–1Nb alloy; Journal of Surface Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques; Vol. 11, iss. 2
Опубликовано: (2017)

Influence of Bias Parameters and Plasma Density on Vacuum Arc Macroparticle Accumulation; Materials and Manufacturing Processes; Vol. 30, iss. 12
по: Ryabchikov A. I. Aleksandr Ilyich
Опубликовано: (2015)

Синтез покрытий TiAlSiN вакуумно-дуговым методом и их основные характеристики; Материалы и технологии новых поколений в современном материаловедении
по: Куренбай А.
Опубликовано: (2016)

Синтез и свойства многослойных и градиентных покрытий; Современные технологии и материалы новых поколений
по: Крысина О. В.
Опубликовано: (2017)

Свойства покрытий TiAlN, полученных методом вакуумно-дугового испарения; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине (ФТПНПМ-2019)
по: Гусс Л. Е.
Опубликовано: (2019)

Модификация поверхностных слоёв титана при ионной имплантации алюминия; Радиационная физика и химия неорганических материалов. РФХ - 2003
Опубликовано: (2003)

Efficient arc sources of gas-discharge plasma in vacuum-plasma production facilities; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 12-2
Опубликовано: (2012)

Свойства ZRO2 и TIO2 покрытий, полученных методом плазменно-ассистированного дугового напыления на циркониевом сплаве Э110; Журнал технической физики; Т. 85, вып. 2
Опубликовано: (2015)

Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец.01.04.20
по: Бумагина А. И. Анна Ивановна
Опубликовано: (Томск, [Б. и.], 2015)

Подавление макрочастиц вакуумной дуги при импульсно-периодическом потенциале смещения: диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.20
по: Бумагина А. И. Анна Ивановна
Опубликовано: (Томск, [Б. и.], 2015)

Нитридные покрытия, получаемые вакуумно-дуговым методом с помощью порошковых катодов; Современные техника и технологии; Т. 2
по: Гуммер З. И.
Опубликовано: (2008)

Formation of repetitively pulsed high-intensity, low-energy silicon ion beams; Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment; Vol. 953
Опубликовано: (2020)

Физико-технические проблемы монодисперсных систем: сборник научных трудов
Опубликовано: (Москва, Изд-во МЭИ, 1988)

Accumulation of macroparticles on a substrate in vacuum arc titanium plasma; Известия вузов. Физика; Т. 57, № 12, ч. 3
Опубликовано: (2014)

Теплотехнические процессы в ЭТО и свойства применяемых материалов: сборник научных трудов
Опубликовано: (Москва, Энергоатомиздат, 1986)

Исследование влияния режимов осаждения пленок алмазоподобного углерода на их физико-механические характеристики; Прикладная физика; № 6
Опубликовано: (2021)

Investigation of filtered vacuum arc plasma application for TiAlN and TiSiB coatings deposition using ion beam and plasma material processing; Surface and Coatings Technology; Vol. 296
Опубликовано: (2016)

Formation of titanium interlayer by vacuum arc deposition to increase the durability of titanium nitride coatings under thermal cycling conditions; Journal of Surface Investigation. X-ray, Synchrotron and Neutron Techniques; Vol. 9, iss. 6
Опубликовано: (2015)

Titanium Macroparticle Fraction Suppression with Steered Arc And Negative Pulse Biasing; Journal of Industrial Pollution Control; Vol. 32, iss. 2
Опубликовано: (2016)

Разработка модели макрочастиц на основе технологии параллельных вычислений; Технологии Microsoft в теории и практике программирования
по: Остроухов П. А.
Опубликовано: (2010)

Vacuum-plasma technologies for high-quality surface-treatment applications; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 12-2
Опубликовано: (2012)

Крупномасштабная модель инжектора тритиевых макрочастиц для международного токамака ИТЭР; Приборы и техника эксперимента; № 1
Опубликовано: (2002)

Формирование высокоинтенсивных пучков ионов металлов низкой энергии на основе плазмы вакуумной дуги высокоинтенсивных пучков ионов металлов низкой энергии на основе плазмы вакуумной дуги: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук; спец. 01.04.20
по: Шевелев А. Э. Алексей Эдуардович
Опубликовано: (Томск, 2019)

High Voltage Vacuum Insulation: The Physical Basis
по: Latham R. V.
Опубликовано: (London, Academic Press, 1981)

Динамика макрочастиц в пылевой плазме в условиях микрогравитации (первые эксперименты на МКС); Журнал экспериментальной и теоретической физики; Т. 123, № 4
Опубликовано: (2003)

Экранировка сильнозаряженных макрочастиц в жидких растворах электролитов; Журнал экспериментальной и теоретической физики; Т. 123, вып. 4
по: Бункин Н. Ф.
Опубликовано: (2003)