Тепловые процессы и эмиссия атомов с поверхности жидкофазной мишени магнетронной распылительной системы

Тепловые процессы и эмиссия атомов с поверхности жидкофазной мишени магнетронной распылительной системы

Podrobná bibliografie
Parent link:	Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 58, № 4.— 2015.— [С. 3-8]
Hlavní autor:	Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Korporativní autor:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ)
Další autoři:	Кривобоков В. П. Валерий Павлович, Юрьева А. В. Алена Викторовна
Shrnutí:	Заглавие с экрана Разработаны математические модели тепловых и эрозионных процессов в теплоизолированной мишени магнетронной распылительной системы. С их помощью получены закономерности формирования эмиссионного потока атомов с поверхности мишени, вещество которой испытывает фазовые превращения первого рода. Исследовано влияние плотности мощности, вкладываемой в магнетронный разряд, рассмотрен фактор неравномерности её распределения вдоль поверхности мишени, изучены особенности эмиссии атомов в режимах с импульсно-периодической генерацией плазмы. Доказана работоспособность моделей путём сравнения расчётных результатов с экспериментальными измерениями. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Jazyk:	ruština
Vydáno:	2015
Témata:	электронный ресурс труды учёных ТПУ распылительные системы жидкофазные мишени эмиссия атомы распыление испарение
On-line přístup:	http://elibrary.ru/item.asp?id=23573541
Médium:	Elektronický zdroj Kapitola
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=643964

Podobné jednotky

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью
Autor: Рогожников Д. С.
Vydáno: (2016)

Сравнительный анализ производительности и энергоэффективности получения металлических покрытий с использованием мощных импульсных ионных пучков и плазмы магнетронного разряда
Autor: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Vydáno: (2012)

Баланс энергии на катодном узле магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью
Vydáno: (2014)

Магнетронная распылительная система на жидкофазных и твёрдых мишенях в сочетании с внешним пучком ускоренных ионов
Autor: Жукова М. А.
Vydáno: (2007)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
Autor: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Vydáno: (Томск, 2017)

Aluminum films deposition by magnetron sputtering systems: Influence of target state and pulsing unit
Vydáno: (2016)

Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий
Autor: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Vydáno: (2014)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
Autor: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Vydáno: (Томск, [Б. и.], 2017)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
Autor: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Vydáno: (Томск, 2017)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
Autor: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Vydáno: (Томск, [Б. и.], 2017)

Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target
Vydáno: (2019)

Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью
Vydáno: (2018)

Магнетотронный диод с жидкофазной мишенью в условиях ассистирования разряда внешним ионным пучком
Autor: Такачакова А. В.
Vydáno: (2007)

Исследование влияния свойств тигля на интенсивность эмиссии атомов с поверхности жидкометаллической мишени МРС
Autor: Валдаева С. В.
Vydáno: (2012)

Вторичная ионная эмиссия металлов
Autor: Векслер В. И. Владимир Исаакович
Vydáno: (Москва, Наука, 1978)

Осаждение TiN с помощью дуальной магнетронной распылительной системы
Autor: Тупикова О. С. Ольга Сергеевна
Vydáno: (2011)

Magnetron sputtering with hot solid target: thermal processes and erosion
Vydáno: (2016)

Магнетронная распылительная система с жидкофазной мишенью
Autor: Юрьева А. В. Алёна Викторовна
Vydáno: (2015)

Моделирование магнитного поля магнетронной распылительной системы с плоским катодом
Autor: Анорин В. Е. Виталий Евгеньевич
Vydáno: (2022)

High-rate magnetron sputtering with hot target
Vydáno: (2016)

Магнетронная распылительная система с жидкофазным катодом
Autor: Николаев М. В.
Vydáno: (2015)

Сильноточное магнетронное распыление Al мишени
Autor: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Vydáno: (2018)

Фотоэлектронная и вторичная электронная эмиссия атомов учебное пособие
Autor: Ковальский Г. А.
Vydáno: (Москва, Изд-во МИРЭА, 1979)

Кальцийфосфатные мишени для ВЧ магнетронного распыления биопокрытий
Vydáno: (2019)

Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий
Autor: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Vydáno: (2020)

Научные и технологические принципы нанесения покрытий методами физического и химического осаждения : методы получения и исследования покрытий практикум
Autor: Кирюханцев-Корнеев Ф. В.
Vydáno: (Москва, МИСИС, 2015)

Распыление мишени при ассистировании магнетронного разряда ионным пучком
Autor: Жуков В. В. Владислав Вячеславович
Vydáno: (2004)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
Autor: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Vydáno: (Томск, 2018)

Эрозия поверхности твердого тела под действием мощных пучков заряженных частиц монография
Autor: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Vydáno: (Новосибирск, Наука, 2014)

Исследование особенностей режима самораспыления при работе магнетронных распылительных систем с испаряющимися металлическими мишенями
Vydáno: (2020)

Исследование характеристик плазмы ВЧ-магнетронного разряда при распылении мишени на основе гидроксиапатита
Autor: Мельников Е. С. Евгений Сергеевич
Vydáno: (2014)

Осаждение хромовых покрытий с помощью магнетронного распыления «горячей» мишени с ассистированием внешним плазменным источником
Autor: Бондарь А. А. Альберт Алексеевич
Vydáno: (2022)

Модифицирование PLLA скаффолдов методом DC магнетронного распыления титановой мишени в смеси рабочих газов
Autor: Марьин П. В. Павел Владимирович
Vydáno: (2021)

Тормозное излучение релятивистских частиц с учётом динамической поляризуемости атома-мишени
Vydáno: (1985)

Оптимизация процессов распылительной сушки
Autor: Долинский А. А. Анатолий Андреевич
Vydáno: (Киев, Наукова думка, 1984)

Исследование плазмы ВЧ-разряда при распылении ГА мишени с использованием зонда Ленгмюра
Autor: Мельников Е. С. Евгений Сергеевич
Vydáno: (2014)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
Autor: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Vydáno: (Томск, 2016)

Эрозия поверхности твердого тела под действием мощных пучков заряженных частиц диссертация на соискание ученой степени доктора физико-математических наук спец. 01.04.07
Autor: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Vydáno: (Томск, 2011)

Исследование влияния парциального давления на спектральный состав и процесс распыления реактивного магнетронного разряда плазмы при распылении мишени титана
Autor: Сунь Чжилэй
Vydáno: (2014)

Эрозия поверхности твердого тела под действием мощных пучков заряженных частиц автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук спец. 01.04.07
Autor: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Vydáno: (Томск, 2011)