Тепловые процессы и эмиссия атомов с поверхности жидкофазной мишени магнетронной распылительной системы; Известия вузов. Физика; Т. 58, № 4

Тепловые процессы и эмиссия атомов с поверхности жидкофазной мишени магнетронной распылительной системы; Известия вузов. Физика; Т. 58, № 4

Bibliografiset tiedot
Parent link:	Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 58, № 4.— 2015.— [С. 3-8]
Päätekijä:	Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Yhteisötekijä:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ)
Muut tekijät:	Кривобоков В. П. Валерий Павлович, Юрьева А. В. Алена Викторовна
Yhteenveto:	Заглавие с экрана Разработаны математические модели тепловых и эрозионных процессов в теплоизолированной мишени магнетронной распылительной системы. С их помощью получены закономерности формирования эмиссионного потока атомов с поверхности мишени, вещество которой испытывает фазовые превращения первого рода. Исследовано влияние плотности мощности, вкладываемой в магнетронный разряд, рассмотрен фактор неравномерности её распределения вдоль поверхности мишени, изучены особенности эмиссии атомов в режимах с импульсно-периодической генерацией плазмы. Доказана работоспособность моделей путём сравнения расчётных результатов с экспериментальными измерениями. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Kieli:	venäjä
Julkaistu:	2015
Aiheet:	электронный ресурс труды учёных ТПУ распылительные системы жидкофазные мишени эмиссия атомы распыление испарение
Linkit:	http://elibrary.ru/item.asp?id=23573541
Aineistotyyppi:	Elektroninen Kirjan osa
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=643964

Samankaltaisia teoksia

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
Tekijä: Рогожников Д. С.
Julkaistu: (2016)

Сравнительный анализ производительности и энергоэффективности получения металлических покрытий с использованием мощных импульсных ионных пучков и плазмы магнетронного разряда; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 11 (2)
Tekijä: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Julkaistu: (2012)

Баланс энергии на катодном узле магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью; Известия вузов. Физика; Т. 57, № 3 (3)
Julkaistu: (2014)

Магнетронная распылительная система на жидкофазных и твёрдых мишенях в сочетании с внешним пучком ускоренных ионов; Современные техника и технологии; Т. 3
Tekijä: Жукова М. А.
Julkaistu: (2007)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
Tekijä: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Julkaistu: (Томск, 2017)

Aluminum films deposition by magnetron sputtering systems: Influence of target state and pulsing unit; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 741 : Optoelectronics, Photonics, Engineering and Nanostructures (Saint Petersburg OPEN 2016)
Julkaistu: (2016)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
Tekijä: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Julkaistu: (Томск, [Б. и.], 2017)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
Tekijä: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Julkaistu: (Томск, 2017)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
Tekijä: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Julkaistu: (Томск, [Б. и.], 2017)

Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Julkaistu: (2019)

Вторичная ионная эмиссия металлов
Tekijä: Векслер В. И. Владимир Исаакович
Julkaistu: (Москва, Наука, 1978)

Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью; Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения
Julkaistu: (2018)

Магнетотронный диод с жидкофазной мишенью в условиях ассистирования разряда внешним ионным пучком; Современные техника и технологии; Т. 3
Tekijä: Такачакова А. В.
Julkaistu: (2007)

Magnetron sputtering with hot solid target: thermal processes and erosion; Acta Polytechnica; Vol. 56, № 6
Julkaistu: (2016)

Осаждение TiN с помощью дуальной магнетронной распылительной системы; Современные техника и технологии; Т. 3
Tekijä: Тупикова О. С. Ольга Сергеевна
Julkaistu: (2011)

Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий; Известия вузов. Физика; Т. 57, № 10/3
Tekijä: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Julkaistu: (2014)

High-rate magnetron sputtering with hot target; Surface and Coatings Technology; Vol. 308 : The 43rd International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films
Julkaistu: (2016)

Магнетронная распылительная система с жидкофазным катодом; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
Tekijä: Николаев М. В.
Julkaistu: (2015)

Фотоэлектронная и вторичная электронная эмиссия атомов: учебное пособие
Tekijä: Ковальский Г. А.
Julkaistu: (Москва, Изд-во МИРЭА, 1979)

Магнетронная распылительная система с жидкофазной мишенью; Современные научные исследования и инновации; № 4
Tekijä: Юрьева А. В. Алёна Викторовна
Julkaistu: (2015)

Моделирование магнитного поля магнетронной распылительной системы с плоским катодом; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
Tekijä: Анорин В. Е. Виталий Евгеньевич
Julkaistu: (2022)

Сильноточное магнетронное распыление Al мишени; Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения
Tekijä: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Julkaistu: (2018)

Научные и технологические принципы нанесения покрытий методами физического и химического осаждения : методы получения и исследования покрытий практикум
Tekijä: Кирюханцев-Корнеев Ф. В.
Julkaistu: (Москва, МИСИС, 2015)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
Tekijä: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Julkaistu: (Томск, 2018)

Кальцийфосфатные мишени для ВЧ магнетронного распыления биопокрытий; Иерархические материалы: разработка и приложения для новых технологий и надежных конструкций
Julkaistu: (2019)

Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий; Современные технологии, экономика и образование
Tekijä: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Julkaistu: (2020)

Исследование влияния свойств тигля на интенсивность эмиссии атомов с поверхности жидкометаллической мишени МРС; Перспективы развития фундаментальных наук
Tekijä: Валдаева С. В.
Julkaistu: (2012)

Распыление мишени при ассистировании магнетронного разряда ионным пучком; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 307, № 7
Tekijä: Жуков В. В. Владислав Вячеславович
Julkaistu: (2004)

Исследование особенностей режима самораспыления при работе магнетронных распылительных систем с испаряющимися металлическими мишенями; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине. Российский и международный опыт подготовки кадров
Julkaistu: (2020)

Оптимизация процессов распылительной сушки
Tekijä: Долинский А. А. Анатолий Андреевич
Julkaistu: (Киев, Наукова думка, 1984)

Исследование характеристик плазмы ВЧ-магнетронного разряда при распылении мишени на основе гидроксиапатита; Перспективы развития фундаментальных наук
Tekijä: Мельников Е. С. Евгений Сергеевич
Julkaistu: (2014)

Эрозия поверхности твердого тела под действием мощных пучков заряженных частиц: монография
Tekijä: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Julkaistu: (Новосибирск, Наука, 2014)

Осаждение хромовых покрытий с помощью магнетронного распыления «горячей» мишени с ассистированием внешним плазменным источником; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
Tekijä: Бондарь А. А. Альберт Алексеевич
Julkaistu: (2022)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
Tekijä: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Julkaistu: (Томск, 2016)

Модифицирование PLLA скаффолдов методом DC магнетронного распыления титановой мишени в смеси рабочих газов; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
Tekijä: Марьин П. В. Павел Владимирович
Julkaistu: (2021)

Исследование влияния парциального давления на спектральный состав и процесс распыления реактивного магнетронного разряда плазмы при распылении мишени титана; Перспективы развития фундаментальных наук
Tekijä: Сунь Чжилэй
Julkaistu: (2014)

Исследование плазмы ВЧ-разряда при распылении ГА мишени с использованием зонда Ленгмюра; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
Tekijä: Мельников Е. С. Евгений Сергеевич
Julkaistu: (2014)

Исследование процесса сушки молока на распылительной сушильной установк0е ЦАН-30; Экотехнологии и ресурсосбережение; № 2
Tekijä: Евса Л. М.
Julkaistu: (2004)

Устройство дугогашения для мощных магнетронных распылительных систем; Современные техника и технологии - СТТ' 2002; Т. 1
Tekijä: Арсланов И. Р.
Julkaistu: (2002)

Investigation of the Extinguishing Features for Liquid Fuels and Organic Flammable Liquids Atomized by a Water Flow; European Physical Journal Web of Conferences (EPJ Web of Conferences); Vol. 110 : Thermophysical Basis of Energy Technologies
Tekijä: Voytkov I. S. Ivan
Julkaistu: (2016)