Тепловые процессы и эмиссия атомов с поверхности жидкофазной мишени магнетронной распылительной системы; Известия вузов. Физика; Т. 58, № 4

Тепловые процессы и эмиссия атомов с поверхности жидкофазной мишени магнетронной распылительной системы; Известия вузов. Физика; Т. 58, № 4

Bibliographic Details
Parent link:	Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 58, № 4.— 2015.— [С. 3-8]
Main Author:	Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ)
Other Authors:	Кривобоков В. П. Валерий Павлович, Юрьева А. В. Алена Викторовна
Summary:	Заглавие с экрана Разработаны математические модели тепловых и эрозионных процессов в теплоизолированной мишени магнетронной распылительной системы. С их помощью получены закономерности формирования эмиссионного потока атомов с поверхности мишени, вещество которой испытывает фазовые превращения первого рода. Исследовано влияние плотности мощности, вкладываемой в магнетронный разряд, рассмотрен фактор неравномерности её распределения вдоль поверхности мишени, изучены особенности эмиссии атомов в режимах с импульсно-периодической генерацией плазмы. Доказана работоспособность моделей путём сравнения расчётных результатов с экспериментальными измерениями. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Language:	Russian
Published:	2015
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ распылительные системы жидкофазные мишени эмиссия атомы распыление испарение
Online Access:	http://elibrary.ru/item.asp?id=23573541
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=643964

Similar Items

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Рогожников Д. С.
Published: (2016)

Баланс энергии на катодном узле магнетронной распылительной системы с жидкофазной мишенью; Известия вузов. Физика; Т. 57, № 3 (3)
Published: (2014)

Сравнительный анализ производительности и энергоэффективности получения металлических покрытий с использованием мощных импульсных ионных пучков и плазмы магнетронного разряда; Известия вузов. Физика; Т. 55, № 11 (2)
by: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Published: (2012)

Магнетронная распылительная система на жидкофазных и твёрдых мишенях в сочетании с внешним пучком ускоренных ионов; Современные техника и технологии; Т. 3
by: Жукова М. А.
Published: (2007)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Published: (Томск, 2017)

Aluminum films deposition by magnetron sputtering systems: Influence of target state and pulsing unit; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 741 : Optoelectronics, Photonics, Engineering and Nanostructures (Saint Petersburg OPEN 2016)
Published: (2016)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Published: (Томск, [Б. и.], 2017)

Вторичная ионная эмиссия металлов
by: Векслер В. И. Владимир Исаакович
Published: (Москва, Наука, 1978)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Published: (Томск, 2017)

Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Юрьева А. В. Алена Викторовна
Published: (Томск, [Б. и.], 2017)

Магнетотронный диод с жидкофазной мишенью в условиях ассистирования разряда внешним ионным пучком; Современные техника и технологии; Т. 3
by: Такачакова А. В.
Published: (2007)

Осаждение TiN с помощью дуальной магнетронной распылительной системы; Современные техника и технологии; Т. 3
by: Тупикова О. С. Ольга Сергеевна
Published: (2011)

Features of self-sustained magnetron sputtering of evaporating metal target; Gas Discharge Plasmas and Their Applications (GDP 2019)
Published: (2019)

Влияние самораспыления на скорости осаждения медных покрытий при работе магнетрона с испаряющейся мишенью; Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения
Published: (2018)

Фотоэлектронная и вторичная электронная эмиссия атомов: учебное пособие
by: Ковальский Г. А.
Published: (Москва, Изд-во МИРЭА, 1979)

Моделирование магнитного поля магнетронной распылительной системы с плоским катодом; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Анорин В. Е. Виталий Евгеньевич
Published: (2022)

Магнетронная распылительная система с жидкофазным катодом; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
by: Николаев М. В.
Published: (2015)

Magnetron sputtering with hot solid target: thermal processes and erosion; Acta Polytechnica; Vol. 56, № 6
Published: (2016)

Магнетронная распылительная система с жидкофазной мишенью; Современные научные исследования и инновации; № 4
by: Юрьева А. В. Алёна Викторовна
Published: (2015)

Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий; Известия вузов. Физика; Т. 57, № 10/3
by: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Published: (2014)

High-rate magnetron sputtering with hot target; Surface and Coatings Technology; Vol. 308 : The 43rd International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films
Published: (2016)

Исследование влияния свойств тигля на интенсивность эмиссии атомов с поверхности жидкометаллической мишени МРС; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Валдаева С. В.
Published: (2012)

Сильноточное магнетронное распыление Al мишени; Перспективные материалы конструкционного и медицинского назначения
by: Грудинин В. А. Владислав Алексеевич
Published: (2018)

Оптимизация процессов распылительной сушки
by: Долинский А. А. Анатолий Андреевич
Published: (Киев, Наукова думка, 1984)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич
Published: (Томск, 2016)

Исследование процесса сушки молока на распылительной сушильной установк0е ЦАН-30; Экотехнологии и ресурсосбережение; № 2
by: Евса Л. М.
Published: (2004)

Кальцийфосфатные мишени для ВЧ магнетронного распыления биопокрытий; Иерархические материалы: разработка и приложения для новых технологий и надежных конструкций
Published: (2019)

Исследование характеристик плазмы ВЧ-магнетронного разряда при распылении мишени на основе гидроксиапатита; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Мельников Е. С. Евгений Сергеевич
Published: (2014)

Анализ возможностей магнетронных распылительных систем для высокоскоростного осаждения функциональных покрытий; Современные технологии, экономика и образование
by: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Published: (2020)

Исследование особенностей режима самораспыления при работе магнетронных распылительных систем с испаряющимися металлическими мишенями; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине. Российский и международный опыт подготовки кадров
Published: (2020)

Эрозия поверхности твердого тела под действием мощных пучков заряженных частиц: монография
by: Блейхер Г. А. Галина Алексеевна
Published: (Новосибирск, Наука, 2014)

Осаждение хромовых покрытий с помощью магнетронного распыления «горячей» мишени с ассистированием внешним плазменным источником; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Бондарь А. А. Альберт Алексеевич
Published: (2022)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 01.04.07
by: Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович
Published: (Томск, 2018)

Модифицирование PLLA скаффолдов методом DC магнетронного распыления титановой мишени в смеси рабочих газов; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Марьин П. В. Павел Владимирович
Published: (2021)

Распыление мишени при ассистировании магнетронного разряда ионным пучком; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Т. 307, № 7
by: Жуков В. В. Владислав Вячеславович
Published: (2004)

Исследование влияния парциального давления на спектральный состав и процесс распыления реактивного магнетронного разряда плазмы при распылении мишени титана; Перспективы развития фундаментальных наук
by: Сунь Чжилэй
Published: (2014)

Влияние электрических параметров магнетронной распылительной системы на структурные и защитные свойства хромовых покрытий; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
by: Ашихмин Д. А.
Published: (2024)

Исследование плазмы ВЧ-разряда при распылении ГА мишени с использованием зонда Ленгмюра; Функциональные материалы: разработка, исследование, применение
by: Мельников Е. С. Евгений Сергеевич
Published: (2014)

Электронная и ионная эмиссия
by: Добрецов Л. Н.
Published: (Москва, Изд-во технико-теоретической литературы, 1952)

Кинетическая ионно-электронная эмиссия
by: Брусиловский Б. А. Борис Абрамович
Published: (Москва, Энергоатомиздат, 1990)