Тепловые процессы и эмиссия атомов с поверхности жидкофазной мишени магнетронной распылительной системы
| Parent link: | Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 58, № 4.— 2015.— [С. 3-8] |
|---|---|
| Main Author: | |
| Corporate Author: | |
| Other Authors: | , |
| Summary: | Заглавие с экрана Разработаны математические модели тепловых и эрозионных процессов в теплоизолированной мишени магнетронной распылительной системы. С их помощью получены закономерности формирования эмиссионного потока атомов с поверхности мишени, вещество которой испытывает фазовые превращения первого рода. Исследовано влияние плотности мощности, вкладываемой в магнетронный разряд, рассмотрен фактор неравномерности её распределения вдоль поверхности мишени, изучены особенности эмиссии атомов в режимах с импульсно-периодической генерацией плазмы. Доказана работоспособность моделей путём сравнения расчётных результатов с экспериментальными измерениями. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Published: |
2015
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://elibrary.ru/item.asp?id=23573541 |
| Format: | Electronic Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=643964 |