Тепловые процессы и эмиссия атомов с поверхности жидкофазной мишени магнетронной распылительной системы; Известия вузов. Физика; Т. 58, № 4
| Parent link: | Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 58, № 4.— 2015.— [С. 3-8] |
|---|---|
| מחבר ראשי: | |
| מחבר תאגידי: | |
| מחברים אחרים: | , |
| סיכום: | Заглавие с экрана Разработаны математические модели тепловых и эрозионных процессов в теплоизолированной мишени магнетронной распылительной системы. С их помощью получены закономерности формирования эмиссионного потока атомов с поверхности мишени, вещество которой испытывает фазовые превращения первого рода. Исследовано влияние плотности мощности, вкладываемой в магнетронный разряд, рассмотрен фактор неравномерности её распределения вдоль поверхности мишени, изучены особенности эмиссии атомов в режимах с импульсно-периодической генерацией плазмы. Доказана работоспособность моделей путём сравнения расчётных результатов с экспериментальными измерениями. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| שפה: | רוסית |
| יצא לאור: |
2015
|
| נושאים: | |
| גישה מקוונת: | http://elibrary.ru/item.asp?id=23573541 |
| פורמט: | MixedMaterials אלקטרוני Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=643964 |