Тепловые процессы и эмиссия атомов с поверхности жидкофазной мишени магнетронной распылительной системы; Известия вузов. Физика; Т. 58, № 4
| Parent link: | Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 58, № 4.— 2015.— [С. 3-8] |
|---|---|
| Автор: | |
| Співавтор: | |
| Інші автори: | , |
| Резюме: | Заглавие с экрана Разработаны математические модели тепловых и эрозионных процессов в теплоизолированной мишени магнетронной распылительной системы. С их помощью получены закономерности формирования эмиссионного потока атомов с поверхности мишени, вещество которой испытывает фазовые превращения первого рода. Исследовано влияние плотности мощности, вкладываемой в магнетронный разряд, рассмотрен фактор неравномерности её распределения вдоль поверхности мишени, изучены особенности эмиссии атомов в режимах с импульсно-периодической генерацией плазмы. Доказана работоспособность моделей путём сравнения расчётных результатов с экспериментальными измерениями. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
2015
|
| Предмети: | |
| Онлайн доступ: | http://elibrary.ru/item.asp?id=23573541 |
| Формат: | Електронний ресурс Частина з книги |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=643964 |
MARC
| LEADER | 00000nla0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 643964 | ||
| 005 | 20250303134319.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\network\8979 | ||
| 090 | |a 643964 | ||
| 100 | |a 20151019d2015 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Тепловые процессы и эмиссия атомов с поверхности жидкофазной мишени магнетронной распылительной системы |f Г. А. Блейхер, В. П. Кривобоков, А. В. Юрьева | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 8 (9 назв.)] | ||
| 330 | |a Разработаны математические модели тепловых и эрозионных процессов в теплоизолированной мишени магнетронной распылительной системы. С их помощью получены закономерности формирования эмиссионного потока атомов с поверхности мишени, вещество которой испытывает фазовые превращения первого рода. Исследовано влияние плотности мощности, вкладываемой в магнетронный разряд, рассмотрен фактор неравномерности её распределения вдоль поверхности мишени, изучены особенности эмиссии атомов в режимах с импульсно-периодической генерацией плазмы. Доказана работоспособность моделей путём сравнения расчётных результатов с экспериментальными измерениями. | ||
| 333 | |a Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса | ||
| 461 | |t Известия вузов. Физика |o научный журнал |f Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ) |d 1957- | ||
| 463 | |t Т. 58, № 4 |v [С. 3-8] |d 2015 | ||
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a распылительные системы | |
| 610 | 1 | |a жидкофазные мишени | |
| 610 | 1 | |a эмиссия | |
| 610 | 1 | |a атомы | |
| 610 | 1 | |a распыление | |
| 610 | 1 | |a испарение | |
| 700 | 1 | |a Блейхер |b Г. А. |c физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1961- |g Галина Алексеевна |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28948 |9 13681 | |
| 701 | 1 | |a Кривобоков |b В. П. |c физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1948- |g Валерий Павлович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\21971 |9 9290 | |
| 701 | 1 | |a Юрьева |b А. В. |c специалист в области водородной энергетики и плазменных технологий |c ассистент Томского политехнического университета |f 1983- |g Алена Викторовна |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30232 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |b Физико-технический институт (ФТИ) |b Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ) |3 (RuTPU)RU\TPU\col\18726 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20160212 |g RCR | |
| 856 | 4 | 0 | |u http://elibrary.ru/item.asp?id=23573541 |
| 942 | |c CF | ||