Формирование наноразмерных частиц карбида кремния и алмазов в поверхностном слое кремниевой мишени при короткоимпульсной имплантации ионов углерода; Журнал технической физики; Т. 79, вып. 4
| Parent link: | Журнал технической физики.— , 1931- Т. 79, вып. 4.— 2009.— [С. 156-158] |
|---|---|
| Altres autors: | , , , , , |
| Sumari: | Заглавие с экрана Представлены результаты исследования синтеза наноразмерных частиц карбида кремния и алмазов при короткоимпульсной имплантации ионов углерода и протонов в кремниевую мишень. Эксперименты проведены с использованием источника импульсных мощных ионных пучков "ЕМП" на основе магнитоизолированного диода с радиальным магнитным полем Br. Параметры пучка: энергия ионов 300 keV, длительность импульса 80 ns, состав пучка ионы углерода и протоны, плотность ионного тока 30 A/cm{2}. В качестве мишени использованы пластины монокристаллического кремния. При последовательном воздействии более 100 импульсов наблюдалось формирование в поверхностном слое кремния наноразмерных частиц SiC и наноалмазов. Средний размер области когерентного рассеяния частиц SiC и наноалмазов 12-16 и 8-9 nm соответственно. |
| Idioma: | rus |
| Publicat: |
2009
|
| Matèries: | |
| Accés en línia: | http://journals.ioffe.ru/jtf/2009/04/page-156.html.ru |
| Format: | Electrònic Capítol de llibre |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=643796 |
MARC
| LEADER | 00000nla0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 643796 | ||
| 005 | 20250228114222.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\network\8794 | ||
| 035 | |a RU\TPU\network\984 | ||
| 090 | |a 643796 | ||
| 100 | |a 20150930d2009 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Формирование наноразмерных частиц карбида кремния и алмазов в поверхностном слое кремниевой мишени при короткоимпульсной имплантации ионов углерода |f Г. Е. Ремнев [и др.] | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 158 (9 назв.)] | ||
| 330 | |a Представлены результаты исследования синтеза наноразмерных частиц карбида кремния и алмазов при короткоимпульсной имплантации ионов углерода и протонов в кремниевую мишень. Эксперименты проведены с использованием источника импульсных мощных ионных пучков "ЕМП" на основе магнитоизолированного диода с радиальным магнитным полем Br. Параметры пучка: энергия ионов 300 keV, длительность импульса 80 ns, состав пучка ионы углерода и протоны, плотность ионного тока 30 A/cm{2}. В качестве мишени использованы пластины монокристаллического кремния. При последовательном воздействии более 100 импульсов наблюдалось формирование в поверхностном слое кремния наноразмерных частиц SiC и наноалмазов. Средний размер области когерентного рассеяния частиц SiC и наноалмазов 12-16 и 8-9 nm соответственно. | ||
| 461 | |t Журнал технической физики |d 1931- | ||
| 463 | |t Т. 79, вып. 4 |v [С. 156-158] |d 2009 | ||
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a карбид кремния | |
| 610 | 1 | |a наночастицы | |
| 610 | 1 | |a алмазы | |
| 610 | 1 | |a имплантация | |
| 610 | 1 | |a ионы | |
| 701 | 1 | |a Ремнёв (Ремнев) |b Г. Е. |c физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук |f 1948- |g Геннадий Ефимович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\22004 |9 9301 | |
| 701 | 1 | |a Иванов |b Ю. Ф. |c физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1955- |g Юрий Федорович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28208 |9 13162 | |
| 701 | 1 | |a Найден |b Е. П. | |
| 701 | 1 | |a Салтымаков |b М. С. |c физик |c младший научный сотрудник Томского политехнического университета |f 1982- |g Максим Сергеевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30452 | |
| 701 | 1 | |a Степанов |b А. В. |c физик |c научный сотрудник Томского политехнического университета |f 1981- |g Андрей Владимирович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28104 |9 13062 | |
| 701 | 1 | |a Штанько |b М. А. |c философ |c доцент Томского политехнического университета, кандидат философских наук |f 1976- |g Марина Александровна |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25569 | |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20150930 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://journals.ioffe.ru/jtf/2009/04/page-156.html.ru | |
| 942 | |c CF | ||