Формирование наноразмерных частиц карбида кремния и алмазов в поверхностном слое кремниевой мишени при короткоимпульсной имплантации ионов углерода; Журнал технической физики; Т. 79, вып. 4

Формирование наноразмерных частиц карбида кремния и алмазов в поверхностном слое кремниевой мишени при короткоимпульсной имплантации ионов углерода

Bibliographic Details
Parent link:	Журнал технической физики.— , 1931- Т. 79, вып. 4.— 2009.— [С. 156-158]
Other Authors:	Ремнёв (Ремнев) Г. Е. Геннадий Ефимович, Иванов Ю. Ф. Юрий Федорович, Найден Е. П., Салтымаков М. С. Максим Сергеевич, Степанов А. В. Андрей Владимирович, Штанько М. А. Марина Александровна
Summary:	Заглавие с экрана Представлены результаты исследования синтеза наноразмерных частиц карбида кремния и алмазов при короткоимпульсной имплантации ионов углерода и протонов в кремниевую мишень. Эксперименты проведены с использованием источника импульсных мощных ионных пучков "ЕМП" на основе магнитоизолированного диода с радиальным магнитным полем Br. Параметры пучка: энергия ионов 300 keV, длительность импульса 80 ns, состав пучка ионы углерода и протоны, плотность ионного тока 30 A/cm{2}. В качестве мишени использованы пластины монокристаллического кремния. При последовательном воздействии более 100 импульсов наблюдалось формирование в поверхностном слое кремния наноразмерных частиц SiC и наноалмазов. Средний размер области когерентного рассеяния частиц SiC и наноалмазов 12-16 и 8-9 nm соответственно.
Language:	Russian
Published:	2009
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ карбид кремния наночастицы алмазы имплантация ионы
Online Access:	http://journals.ioffe.ru/jtf/2009/04/page-156.html.ru
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=643796

Internet

http://journals.ioffe.ru/jtf/2009/04/page-156.html.ru