Модальный анализ деформированной микроструктуры резонаторного микромеханического акселерометра
| Parent link: | Фундаментальные исследования.— , 2003- № 2, ч. 12.— 2015.— [С. 2553-2557] |
|---|---|
| Main Author: | |
| Corporate Author: | |
| Other Authors: | |
| Summary: | Заглавие с экрана В работе рассматривается влияние различных видов деформаций, вызванных линейными и угловыми перемещениями инерционной массы резонаторного микроакселерометра, на собственные частоты чувствительных резонаторов. Объектом исследования выбран одноосный микроакселерометр резонаторного типа, содержащий одну инерционную массу и пару чувствительных резонаторов, выполняющих одновременно роль упругого подвеса и системы возбуждения-регистрации колебаний. В силу специфических особенностей работы датчика ускорения особое внимание следует уделять стабильности и устойчивости собственных частот резонаторов к внешним возмущающим воздействиям. Построены зависимости собственных частот резонаторов от вредных моментов и усилий, действующих со стороны инерционной массы, а также приведены уравнения, отражающие влияние геометрических размеров резонатора, свойств материала и полезного усилия на собственную частоту резонатора. In paper we consider the impact of different types of deformations caused by the linear and angular displacements of the inertial mass of the resonator microaccelerometer on sensitive natural frequencies of the resonators. The object of investigation was selected uniaxial microaccelerometer resonator type containing one inertial mass and a pair of sensitive resonators perform simultaneously the role of elastic suspension system and excitation-detection of vibrations. Because of the specific features of work acceleration sensor, special attention should be paid to the stability and sustainability of the natural frequencies of the resonators to external perturbations. The study constructed according to the natural frequencies of the resonators harmful moments and forces exerted by the inertial mass, as well as the equation shows, reflecting the influence of the geometrical dimensions of the resonator, material properties and useful force to the natural frequency of the resonator. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Published: |
2015
|
| Series: | Технические науки |
| Subjects: | |
| Online Access: | http://fundamental-research.ru/ru/article/view?id=37521 http://elibrary.ru/item.asp?id=23342640 |
| Format: | Electronic Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=643293 |