Характеристики разряда низкого давления в полом катоде большого размера
| Parent link: | Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 57, № 12-2.— 2014.— [С. 211-215] |
|---|---|
| Other Authors: | , , , |
| Summary: | Заглавие с экрана Проведено теоретическое исследование характеристик разряда низкого давления в полом катоде большого размера. Рассмотрены самостоятельный режим горения разряда и режим дополнительной инжекции электронов. Показано, что независимо от площади поверхности и материала обрабатываемых деталей возможна независимая регулировка плотности ионного тока и напряжения его горения (энергии ионов) за счет тока дополнительной инжекции. Теоретическая и численная модели согласуются с экспериментальными данными. This work realizes the theoretical research on the generation of low-temperature plasma in a glow discharge with a large area hollow cathode. Discharge characteristics are studied in a self-sustained and non-self-sustained regimes of burning at a gas pressure 0.2-1.5 Pa (argon, nitrogen). The theoretical dependences of burning voltage, plasma concentration and plasma temperature on the gas pressure and anode area were obtained. It is demonstrated that in the self-sustained glow discharge the high homogeneity of plasma is reached with concentration up to 10 12 cm -3 and plasma temperature of the order 1 eV. Theoretically, using numerical modeling we study the effect of processed parts located inside the hollow cathode on plasma concentration. It has been shown that by using the current of external discharge, it is possible to control the concentration of plasma even in the presence of processed parts. Theoretical and numerical models are consistent with experimental data. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Language: | Russian |
| Published: |
2014
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://elibrary.ru/item.asp?id=23493127 |
| Format: | Electronic Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=643245 |