Effect of the anisotropy of monocrystalline silicon mechanical properties on the dynamic characteristics of a micromechanical gyroscope; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 81 : Radiation-Thermal Effects and Processes in Inorganic Materials

Effect of the anisotropy of monocrystalline silicon mechanical properties on the dynamic characteristics of a micromechanical gyroscope; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 81 : Radiation-Thermal Effects and Processes in Inorganic Materials

التفاصيل البيبلوغرافية
Parent link:	IOP Conference Series: Materials Science and Engineering Vol. 81 : Radiation-Thermal Effects and Processes in Inorganic Materials.— 2015.— [012096, 8 p.]
مؤلف مشترك:	Томский политехнический университет
مؤلفون آخرون:	Nesterenko T. G. Tamara Georgievna, Vtorushin S. E., Барбин Е. С. Евгений Сергеевич, Koleda A. N. Aleksey Nikolaevich
الملخص:	Title screen The aim of the research was to determine the effect of temperature on mechanical properties of a micromechanical gyroscope with the sensing element mounted on a silicon wafer, with the crystallographic orientation of (100) (110) (111). The research is of current relevancy since the metrological characteristics that depend on the eigenfrequencies over the full temperature range are to be controlled. The temperature-modal analysis of the micromechanical gyroscope model was performed with ANSYS program. The temperature dependence for eigenfrequencies was obtained. The dependence of the scale factor on temperature for the most temperature-independent variant of sensor positioning on the wafer was determined. The developed mathematical model was used to find the forms of the output oscillations of the gyroscope. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
اللغة:	الإنجليزية
منشور في:	2015
الموضوعات:	электронный ресурс труды учёных ТПУ анизотропия монокристаллический кремний динамические характеристики гироскопы
الوصول للمادة أونلاين:	http://dx.doi.org/10.1088/1757-899X/81/1/012096 http://earchive.tpu.ru/handle/11683/14740
التنسيق:	الكتروني فصل الكتاب
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=643027

مواد مشابهة

Влияние кристаллографической ориентации кремниевой пластины на динамические характеристики микромеханического гироскопа; Неразрушающий контроль: электронное приборостроение, технологии, безопасность; Т. 2
حسب: Вторушин С. Е.
منشور في: (2014)

Об одной модели малогабаритного линейного акселерометра; Приборы и системы. Управление, контроль, диагностика; № 6
حسب: Увакин В. Ф.
منشور في: (2003)

Температурный дрейф собственных частот микромеханического гироскопа; Вестник науки Сибири; № 1 (11)
حسب: Вторушин С. Е. Сергей Евгеньевич
منشور في: (2014)

The control system of primary oscillation for micromechanical gyroscope; New perspectives in measurements, tools and techniques for systems reliability, maintainability and safety
منشور في: (2016)

Metrological characteristics and testing of MEMS gyroscopes; Космическое приборостроение
حسب: Soltanova D. G.
منشور في: (2014)

Design of MEMS Vibratory Gyroscopes; Космическое приборостроение
حسب: Lo Van Hao
منشور في: (2015)

The Effect of Anisotropy in Polymeric Matrices on Compositional Properties at Various Temperatures; Advanced Materials Research; Vol. 1040 : High Technology: Research and Applications 2014 (HTRA 2014)
منشور في: (2014)

The ability to create NTD silicon technology in the IRT-T reactor in a horizontal experimental channel with one-side access; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 135 : Issues of Physics and Technology in Science, Industry and Medicine
منشور في: (2016)

Gyroscopes: Teory and Desiign: with Applicatitions to Instrumentation, Guidance, and Control
حسب: Savet P. H. Paul H.
منشور في: (New York, McGraw-Hill Book Company, 1961)

Динамика микромеханического и волнового твердотельного гироскопов
حسب: Меркурьев И. В. Игорь Владимирович
منشور في: (Москва, Физматлит, 2009)

Development of Gyroscope with Gas-dynamic Suspension of Ball Rotor; Иностранный язык в контексте проблем профессиональной коммуникации
حسب: Kuzma A. A. Anastasiya Albertovna
منشور في: (2015)

Ring Laser Gyroscope and Their Uses; Космическое приборостроение
حسب: Apotin V. S.
منشور في: (2015)

Nutation damping of dynamically tuned gyroscopes; MATEC Web of Conferences; Vol. 102 : Space Engineering
حسب: Belyanin L. N. Lev Nikolaevich
منشور في: (2017)

Evaluation of the gas-dynamic bearing parameters for the ball gyroscope; Ресурсоэффективные системы в управлении и контроле: взгляд в будущее; Ч. 1
حسب: Kuzma A. A. Anastasiya Albertovna
منشور في: (2014)

Control System of Parameters of the Azimuthal Module; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 168 : Radiation-Thermal Effects and Processes in Inorganic Materials (RTEP2016)
منشور في: (2017)

Формирование структуры и свойств углеграфитовых материалов
حسب: Фиалков А. С. Абрам Самуилович
منشور في: (Москва, Металлургия, 1965)

Switching of gyroscope vibration; Иностранный язык в контексте проблем профессиональной коммуникации
حسب: Kozhevnikov P. V.
منشور في: (2015)

Integrated microelectromechanical gyroscope under shock loads; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 289 : Modern Technologies for Non-Destructive Testing
حسب: Nesterenko T. G. Tamara Georgievna
منشور في: (2018)

Nuclear Doping of Single-Crystal Silicon in the IRT-T Pool Type Research Nuclear Reactor; Actual Problems of Electronic Instrument Engineering (APEIE-2018); Vol. 1, pt. 1
منشور في: (2018)

Physico-mathematical modeling methods for the pressure distribution determination in the gas-dynamic bearing gap of the ball gyroscope; MATEC Web of Conferences; Vol. 102 : Space Engineering
حسب: Ignatovskaya A. A. Anastasiya Albertovna
منشور في: (2017)

Personal navigation system based on MEMS gyroscope; MATEC Web of Conferences; Vol. 102 : Space Engineering
حسب: Lo Van Hao
منشور في: (2017)

Anisotropy of a relict scalar field; Russian Physics Journal; Vol. 52, iss. 1
حسب: Lasukov V. V. Vladimir Vasilievich
منشور في: (2009)

Physics and chemistry of producing silicon-hydroxylapatite-titanium composite materials; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 81 : Radiation-Thermal Effects and Processes in Inorganic Materials
منشور في: (2015)

Computer-aided design system for control moment gyroscope; MATEC Web of Conferences; Vol. 158 : Space Engineering
حسب: Kostyuchenko T. G. Tamara Georgievna
منشور في: (2018)

Использование монокристаллического кремния для детектирования нейтронного излучения ядерного реактора; Перспективы развития фундаментальных наук
حسب: Емец Е. Г. Евгений Геннадьевич
منشور في: (2015)

Радиационно-технологический комплекс реактора ИРТ-Т для модификации свойств монокристаллического кремния и полудрагоценных кристаллов; Известия вузов. Физика; Т. 58, № 2-2
منشور في: (2015)

The Study of the Structural Phase State and Properties of Impact Resistant Zr-Y-O Coatings Systems on Si Substrates; AIP Conference Proceedings; Vol. 2167 : Advanced Materials with Hierarchical Structure for New Technologies and Reliable Structures 2019 (AMHS'19)
منشور في: (2019)

Control device of human being spatial position based on micromechanical inertial module; Инженерия для освоения космоса
حسب: Zorina E. V.
منشور في: (2016)

Молибден в ядерной энергетике
منشور في: (Москва, Атомиздат, 1977)

Связь параметров и структурного совершенства кремниевых pin-фотоприемников; Известия вузов. Физика; Т. 47, № 12
حسب: Кулинич О. А.
منشور في: (2004)

Использование монокристаллического кремния для контроля ядерно-физических характеристик нейтронных полей; Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине
منشور في: (2015)

A novel multiple-axis MEMS gyroscope-accelerometer with decoupling frames; Sensor Review; Vol. 39, iss. 5
منشور في: (2019)

The investigation of the anisotropy of flow properties of terrigenous reservoirs; Проблемы геологии и освоения недр; Т. 2
حسب: Ermekov R. I.
منشور في: (2018)

Role of Crystallographic Anisotropy in the Formation of Surface Layers of Single NiTi Crystals after Ion-Plasma Alloying; AIP Conference Proceedings; Vol. 1683 : Advanced Materials with Hierarchical Structure for New Technologies and Reliable Structures
منشور في: (2015)

Исследование квазиравновесной индуцированной фотопроводимости в слабо компенсированном примесном кремнии; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]; Неразрушающий контроль и диагностика
حسب: Зыков В. М. Владимир Михайлович
منشور في: (2008)

Оптимизация конфигурации активной зоны реактора ИРТ-Т для облучения слитков монокристаллического кремния большого диаметра; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
حسب: Дмитриев С. К.
منشور في: (2018)

Влияние температуры и времени на условия смачивания стекольными расплавами монокристаллического кремния; Химия и химическая технология в XXI веке; Т. 1
حسب: Комаров Д. В.
منشور في: (2023)

The Statement of Design and Application Questions for the Gyroscope with a Gas-dynamic Suspension of Ball Rotor in the Navigation Support Drilling System; Journal of Physics: Conference Series; Vol. 671 : Innovations in Non-Destructive Testing (SibTest 2015)
حسب: Golikov A. N. Aleksey Nikandrovich
منشور في: (2016)

PV effectiveness under natural conditions; IOP Conference Series: Materials Science and Engineering; Vol. 81 : Radiation-Thermal Effects and Processes in Inorganic Materials
منشور في: (2015)

Влияние условий осаждения на механические и оптические свойства кремний-углеродных пленок; Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2017)
منشور في: (2017)