Эрозия мишени из GaAs при воздействии импульсного мощного ионного пучка

Эрозия мишени из GaAs при воздействии импульсного мощного ионного пучка

Bibliographic Details
Parent link:Известия вузов. Физика: научный журнал.— , 1957-
Т. 50, № 1.— 2007.— [С. 66-70]
Corporate Author: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Лаборатория № 1
Other Authors: Ли Цзень Фень, Ремнёв (Ремнев) Г. Е. Геннадий Ефимович, Салтымаков М. С. Максим Сергеевич, Гусельников В. И., Макеев В. А., Ивонин В. И., Найден Е. П., Юрченко В. И.
Summary:Заглавие с экрана
Исследована эрозия мишени из GaAs при воздействии импульсного мощного ионного пучка. В экспериментах использовался источник мощных ионных пучков со следующими параметрами: энергия ионов - 250 кэВ, плотность тока на мишени - до 350 А/см{2}, длительность импульса - 80 нс, плотность энергии на мишени - до 7 Дж/см{2}. Измерен коэф. эрозии мишени и его зависимость от числа последовательных импульсов. Отмечено увеличение параметра шероховатости поверхности увеличением числа последовательных импульсов тока пучка и формирование регулярной структуры рельефа поверхности при числе импульсов более 20-40.
Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Published: 2007
Subjects:
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
ионное облучение
эрозия
арсенид галлия
мишени
GaAs
Online Access:http://elibrary.ru/item.asp?id=9319224
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=642018

Similar Items

Similar Items