Эрозия мишени из GaAs при воздействии импульсного мощного ионного пучка

Эрозия мишени из GaAs при воздействии импульсного мощного ионного пучка

Bibliographic Details
Parent link:	Известия вузов. Физика: научный журнал.— , 1957- Т. 50, № 1.— 2007.— [С. 66-70]
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Лаборатория № 1
Other Authors:	Ли Цзень Фень, Ремнёв (Ремнев) Г. Е. Геннадий Ефимович, Салтымаков М. С. Максим Сергеевич, Гусельников В. И., Макеев В. А., Ивонин В. И., Найден Е. П., Юрченко В. И.
Summary:	Заглавие с экрана Исследована эрозия мишени из GaAs при воздействии импульсного мощного ионного пучка. В экспериментах использовался источник мощных ионных пучков со следующими параметрами: энергия ионов - 250 кэВ, плотность тока на мишени - до 350 А/см{2}, длительность импульса - 80 нс, плотность энергии на мишени - до 7 Дж/см{2}. Измерен коэф. эрозии мишени и его зависимость от числа последовательных импульсов. Отмечено увеличение параметра шероховатости поверхности увеличением числа последовательных импульсов тока пучка и формирование регулярной структуры рельефа поверхности при числе импульсов более 20-40. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Published:	2007
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ ионное облучение эрозия арсенид галлия мишени GaAs
Online Access:	http://elibrary.ru/item.asp?id=9319224
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=642018

Internet

http://elibrary.ru/item.asp?id=9319224