Эрозия мишени из GaAs при воздействии импульсного мощного ионного пучка
| Parent link: | Известия вузов. Физика: научный журнал.— , 1957- Т. 50, № 1.— 2007.— [С. 66-70] |
|---|---|
| Körperschaft: | |
| Weitere Verfasser: | , , , , , , , |
| Zusammenfassung: | Заглавие с экрана Исследована эрозия мишени из GaAs при воздействии импульсного мощного ионного пучка. В экспериментах использовался источник мощных ионных пучков со следующими параметрами: энергия ионов - 250 кэВ, плотность тока на мишени - до 350 А/см{2}, длительность импульса - 80 нс, плотность энергии на мишени - до 7 Дж/см{2}. Измерен коэф. эрозии мишени и его зависимость от числа последовательных импульсов. Отмечено увеличение параметра шероховатости поверхности увеличением числа последовательных импульсов тока пучка и формирование регулярной структуры рельефа поверхности при числе импульсов более 20-40. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Veröffentlicht: |
2007
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | http://elibrary.ru/item.asp?id=9319224 |
| Format: | Elektronisch Buchkapitel |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=642018 |
MARC
| LEADER | 00000naa0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 642018 | ||
| 005 | 20250408105836.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\network\6949 | ||
| 035 | |a RU\TPU\network\6904 | ||
| 090 | |a 642018 | ||
| 100 | |a 20150611d2007 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Эрозия мишени из GaAs при воздействии импульсного мощного ионного пучка |f Ли Цзень Фень [и др.] | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 70 (9 назв.)] | ||
| 330 | |a Исследована эрозия мишени из GaAs при воздействии импульсного мощного ионного пучка. В экспериментах использовался источник мощных ионных пучков со следующими параметрами: энергия ионов - 250 кэВ, плотность тока на мишени - до 350 А/см{2}, длительность импульса - 80 нс, плотность энергии на мишени - до 7 Дж/см{2}. Измерен коэф. эрозии мишени и его зависимость от числа последовательных импульсов. Отмечено увеличение параметра шероховатости поверхности увеличением числа последовательных импульсов тока пучка и формирование регулярной структуры рельефа поверхности при числе импульсов более 20-40. | ||
| 333 | |a Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса | ||
| 461 | |t Известия вузов. Физика |o научный журнал |d 1957- | ||
| 463 | |t Т. 50, № 1 |v [С. 66-70] |d 2007 | ||
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a ионное облучение | |
| 610 | 1 | |a эрозия | |
| 610 | 1 | |a арсенид галлия | |
| 610 | 1 | |a мишени | |
| 610 | 1 | |a GaAs | |
| 701 | 1 | |a Ли Цзень Фень | |
| 701 | 1 | |a Ремнёв (Ремнев) |b Г. Е. |c физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор технических наук |f 1948- |g Геннадий Ефимович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\22004 |9 9301 | |
| 701 | 1 | |a Салтымаков |b М. С. |c физик |c младший научный сотрудник Томского политехнического университета |f 1982- |g Максим Сергеевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30452 |9 14777 | |
| 701 | 1 | |a Гусельников |b В. И. | |
| 701 | 1 | |a Макеев |b В. А. | |
| 701 | 1 | |a Ивонин |b В. И. | |
| 701 | 1 | |a Найден |b Е. П. | |
| 701 | 1 | |a Юрченко |b В. И. | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |b Институт физики высоких технологий (ИФВТ) |b Лаборатория № 1 |3 (RuTPU)RU\TPU\col\19035 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20150615 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://elibrary.ru/item.asp?id=9319224 | |
| 942 | |c CF | ||