Cellular automata modeling of microcrystalline structure formation; AIP Conference Proceedings; Vol. 1623 : International Conference on Physical Mesomechanics of Multilevel Systems 2014, Tomsk, Russia, 3–5 September 2014

Chi tiết về thư mục
Parent link:AIP Conference Proceedings
Vol. 1623 : International Conference on Physical Mesomechanics of Multilevel Systems 2014, Tomsk, Russia, 3–5 September 2014.— 2014.— [P. 419-422]
Tác giả chính: Mikolaychuk M. Mikhail
Tác giả của công ty: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Кафедра физики высоких технологий в машиностроении (ФВТМ)
Tác giả khác: Knyazeva A. G. Anna Georgievna
Tóm tắt:Title screen
The paper discusses the problem of microcrystalline structure formation during magnetron sputtering. The authors suggest the model based on cellular automata approach combined with chemical kinetics considerations, briefly discuss a practical way for kinetic constants evaluation and derive their accurate values. The work numerically solves a particular problem of coating formation by magnetron sputter deposition in multicomponent chemically active plasma.
Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Ngôn ngữ:Tiếng Anh
Được phát hành: 2014
Những chủ đề:
Truy cập trực tuyến:http://dx.doi.org/10.1063/1.4898971
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/35730
Định dạng: Điện tử Chương của sách
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=641874

Những quyển sách tương tự