Исследование структуры, элементного и фазового состава покрытий на основе оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления
| Parent link: | Взаимодействие ионов с поверхностью (ВИП - 2013)=Ion - surface interactions (ISI - 2013): труды XXI международной конференции, Ярославль, Россия, 22-26 августа 2013 г./ под ред. Е. Ю. Зыковой [и др.].— : [Б. и.], 2013 Т. 1.— 2013.— [С. 150 - 153] |
|---|---|
| Corporate Author: | |
| Other Authors: | , , , , , , , , |
| Summary: | Заглавие с экрана In the paper, we investigate the structure, elemental and phase composition Ti-O/Ti-Ncoatings that were deposited by reactive magnetron sputtering on a stainless steel surface. Thefilm consists of two phases: a nanocrystalline and amorphous structure, the strength of theinterfaces increases the resistance to deformation of the coating, and the absence of dislocationsinside the crystallites increases their elasticity. At saturation in the plasma on the surface of thefilms formed oxy-hydrides. |
| Language: | Russian |
| Published: |
2013
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://isi2013.spbstu.ru/rus/frst_rus.html http://isi2013.spbstu.ru/DL/Volume1.pdf#page=152 |
| Format: | Electronic Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=641821 |
MARC
| LEADER | 00000naa0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 641821 | ||
| 005 | 20250603142332.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\network\6738 | ||
| 090 | |a 641821 | ||
| 100 | |a 20150603d2013 k y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Исследование структуры, элементного и фазового состава покрытий на основе оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления |d The structure, elemental and phase composition of the coating of titanium oxynitride deposited by reactive magnetron sputtering |f Е. С. Киселева [и др.] | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 153 (2 назв.)] | ||
| 330 | |a In the paper, we investigate the structure, elemental and phase composition Ti-O/Ti-Ncoatings that were deposited by reactive magnetron sputtering on a stainless steel surface. Thefilm consists of two phases: a nanocrystalline and amorphous structure, the strength of theinterfaces increases the resistance to deformation of the coating, and the absence of dislocationsinside the crystallites increases their elasticity. At saturation in the plasma on the surface of thefilms formed oxy-hydrides. | ||
| 461 | |t Взаимодействие ионов с поверхностью (ВИП - 2013) |o труды XXI международной конференции, Ярославль, Россия, 22-26 августа 2013 г. |l Ion - surface interactions (ISI - 2013) |f под ред. Е. Ю. Зыковой [и др.] |n [Б. и.] |d 2013 | ||
| 463 | |t Т. 1 |v [С. 150 - 153] |d 2013 | ||
| 510 | 1 | |a The structure, elemental and phase composition of the coating of titanium oxynitride deposited by reactive magnetron sputtering |z eng | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a покрытия | |
| 610 | 1 | |a оксинитридные покрытия | |
| 610 | 1 | |a оксинитриды титана | |
| 610 | 1 | |a реактивное магнетронное распыление | |
| 701 | 1 | |a Киселева |b Е. С. |c специалист в области маркетинга |c старший преподаватель Томского политехнического университета |f 1981- |g Елена Станиславовна |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25430 |9 11372 | |
| 701 | 1 | |a Никитенков |b Н. Н. |c российский физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1953- |g Николай Николаевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25364 |9 11325 | |
| 701 | 1 | |a Конищев |b М. Е. |c физик |c старший преподаватель Томского политехнического университета |f 1987- |g Максим Евгеньевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\27837 |9 12872 | |
| 701 | 1 | |a Кузьмин |b О. С. |c физик |c инженер Томского политехнического университета |f 1961- |g Олег Станиславович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\33925 | |
| 701 | 1 | |a Никитенков |b А. Н. |c физик, гидрогеолог |c доцент Томского политехнического университета, кандидат геолого-минералогических наук |f 1983- |g Алексей Николаевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\27729 |9 12803 | |
| 701 | 1 | |a Пустовалова |b А. А. |c биофизик |c инженер Томского политехнического университета |f 1989- |g Алла Александровна |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\31045 | |
| 701 | 1 | |a Морозова |b Н. С. |c специалист в области теоретической и экспериментальной физики |c инженер-проектировщик Томского политехнического университета |g Наталья Сергеевна |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28689 | |
| 701 | 1 | |a Бычков |b П. Н. |c специалист в области энергетики |c доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук |f 1957- |g Пётр Николаевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\33136 |9 16957 | |
| 701 | 1 | |a Пичугин |b В. Ф. |c российский физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1944- |g Владимир Федорович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25824 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) |b Физико-технический институт (ФТИ) |c (2010- ) |3 (RuTPU)RU\TPU\col\17709 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20180305 |g RCR | |
| 850 | |a 63413507 | ||
| 856 | 4 | |u http://isi2013.spbstu.ru/rus/frst_rus.html | |
| 856 | 4 | |u http://isi2013.spbstu.ru/DL/Volume1.pdf#page=152 | |
| 942 | |c CF | ||