Исследование структуры, элементного и фазового состава покрытий на основе оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления

Bibliographic Details
Parent link:Взаимодействие ионов с поверхностью (ВИП - 2013)=Ion - surface interactions (ISI - 2013): труды XXI международной конференции, Ярославль, Россия, 22-26 августа 2013 г./ под ред. Е. Ю. Зыковой [и др.].— : [Б. и.], 2013
Т. 1.— 2013.— [С. 150 - 153]
Corporate Author: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ)
Other Authors: Киселева Е. С. Елена Станиславовна, Никитенков Н. Н. Николай Николаевич, Конищев М. Е. Максим Евгеньевич, Кузьмин О. С. Олег Станиславович, Никитенков А. Н. Алексей Николаевич, Пустовалова А. А. Алла Александровна, Морозова Н. С. Наталья Сергеевна, Бычков П. Н. Пётр Николаевич, Пичугин В. Ф. Владимир Федорович
Summary:Заглавие с экрана
In the paper, we investigate the structure, elemental and phase composition Ti-O/Ti-Ncoatings that were deposited by reactive magnetron sputtering on a stainless steel surface. Thefilm consists of two phases: a nanocrystalline and amorphous structure, the strength of theinterfaces increases the resistance to deformation of the coating, and the absence of dislocationsinside the crystallites increases their elasticity. At saturation in the plasma on the surface of thefilms formed oxy-hydrides.
Language:Russian
Published: 2013
Subjects:
Online Access:http://isi2013.spbstu.ru/rus/frst_rus.html
http://isi2013.spbstu.ru/DL/Volume1.pdf#page=152
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=641821

MARC

LEADER 00000naa0a2200000 4500
001 641821
005 20250603142332.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\network\6738 
090 |a 641821 
100 |a 20150603d2013 k y0rusy50 ca 
101 0 |a rus 
102 |a RU 
135 |a drcn ---uucaa 
181 0 |a i  
182 0 |a b 
200 1 |a Исследование структуры, элементного и фазового состава покрытий на основе оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления  |d The structure, elemental and phase composition of the coating of titanium oxynitride deposited by reactive magnetron sputtering  |f Е. С. Киселева [и др.] 
203 |a Текст  |c электронный 
300 |a Заглавие с экрана 
320 |a [Библиогр.: с. 153 (2 назв.)] 
330 |a In the paper, we investigate the structure, elemental and phase composition Ti-O/Ti-Ncoatings that were deposited by reactive magnetron sputtering on a stainless steel surface. Thefilm consists of two phases: a nanocrystalline and amorphous structure, the strength of theinterfaces increases the resistance to deformation of the coating, and the absence of dislocationsinside the crystallites increases their elasticity. At saturation in the plasma on the surface of thefilms formed oxy-hydrides. 
461 |t Взаимодействие ионов с поверхностью (ВИП - 2013)  |o труды XXI международной конференции, Ярославль, Россия, 22-26 августа 2013 г.  |l Ion - surface interactions (ISI - 2013)  |f под ред. Е. Ю. Зыковой [и др.]  |n [Б. и.]  |d 2013 
463 |t Т. 1  |v [С. 150 - 153]  |d 2013 
510 1 |a The structure, elemental and phase composition of the coating of titanium oxynitride deposited by reactive magnetron sputtering  |z eng 
610 1 |a электронный ресурс 
610 1 |a труды учёных ТПУ 
610 1 |a покрытия 
610 1 |a оксинитридные покрытия 
610 1 |a оксинитриды титана 
610 1 |a реактивное магнетронное распыление 
701 1 |a Киселева  |b Е. С.  |c специалист в области маркетинга  |c старший преподаватель Томского политехнического университета  |f 1981-  |g Елена Станиславовна  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25430  |9 11372 
701 1 |a Никитенков  |b Н. Н.  |c российский физик  |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук  |f 1953-  |g Николай Николаевич  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25364  |9 11325 
701 1 |a Конищев  |b М. Е.  |c физик  |c старший преподаватель Томского политехнического университета  |f 1987-  |g Максим Евгеньевич  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\27837  |9 12872 
701 1 |a Кузьмин  |b О. С.  |c физик  |c инженер Томского политехнического университета  |f 1961-  |g Олег Станиславович  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\33925 
701 1 |a Никитенков  |b А. Н.  |c физик, гидрогеолог  |c доцент Томского политехнического университета, кандидат геолого-минералогических наук  |f 1983-  |g Алексей Николаевич  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\27729  |9 12803 
701 1 |a Пустовалова  |b А. А.  |c биофизик  |c инженер Томского политехнического университета  |f 1989-  |g Алла Александровна  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\31045 
701 1 |a Морозова  |b Н. С.  |c специалист в области теоретической и экспериментальной физики  |c инженер-проектировщик Томского политехнического университета  |g Наталья Сергеевна  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\28689 
701 1 |a Бычков  |b П. Н.  |c специалист в области энергетики  |c доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук  |f 1957-  |g Пётр Николаевич  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\33136  |9 16957 
701 1 |a Пичугин  |b В. Ф.  |c российский физик  |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук  |f 1944-  |g Владимир Федорович  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25824 
712 0 2 |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)  |b Физико-технический институт (ФТИ)  |c (2010- )  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\17709 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20180305  |g RCR 
850 |a 63413507 
856 4 |u http://isi2013.spbstu.ru/rus/frst_rus.html 
856 4 |u http://isi2013.spbstu.ru/DL/Volume1.pdf#page=152 
942 |c CF