Исследование структуры, элементного и фазового состава покрытий на основе оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Взаимодействие ионов с поверхностью (ВИП - 2013); Т. 1

Исследование структуры, элементного и фазового состава покрытий на основе оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления

Bibliographic Details
Parent link:	Взаимодействие ионов с поверхностью (ВИП - 2013)=Ion - surface interactions (ISI - 2013): труды XXI международной конференции, Ярославль, Россия, 22-26 августа 2013 г./ под ред. Е. Ю. Зыковой [и др.].— : [Б. и.], 2013 Т. 1.— 2013.— [С. 150 - 153]
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ)
Other Authors:	Киселева Е. С. Елена Станиславовна, Никитенков Н. Н. Николай Николаевич, Конищев М. Е. Максим Евгеньевич, Кузьмин О. С. Олег Станиславович, Никитенков А. Н. Алексей Николаевич, Пустовалова А. А. Алла Александровна, Морозова Н. С. Наталья Сергеевна, Бычков П. Н. Пётр Николаевич, Пичугин В. Ф. Владимир Федорович
Summary:	Заглавие с экрана In the paper, we investigate the structure, elemental and phase composition Ti-O/Ti-Ncoatings that were deposited by reactive magnetron sputtering on a stainless steel surface. Thefilm consists of two phases: a nanocrystalline and amorphous structure, the strength of theinterfaces increases the resistance to deformation of the coating, and the absence of dislocationsinside the crystallites increases their elasticity. At saturation in the plasma on the surface of thefilms formed oxy-hydrides.
Language:	Russian
Published:	2013
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ покрытия оксинитридные покрытия оксинитриды титана реактивное магнетронное распыление
Online Access:	http://isi2013.spbstu.ru/rus/frst_rus.html http://isi2013.spbstu.ru/DL/Volume1.pdf#page=152
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=641821

Internet

http://isi2013.spbstu.ru/rus/frst_rus.html
http://isi2013.spbstu.ru/DL/Volume1.pdf#page=152