Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ), Киселева Е. С. Елена Станиславовна, Никитенков Н. Н. Николай Николаевич, Конищев М. Е. Максим Евгеньевич, Кузьмин О. С. Олег Станиславович, Никитенков А. Н. Алексей Николаевич, . . . Пичугин В. Ф. Владимир Федорович. (2013). Исследование структуры, элементного и фазового состава покрытий на основе оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Взаимодействие ионов с поверхностью (ВИП - 2013); Т. 1. 2013.
Chicago Style (17th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ), et al. Исследование структуры, элементного и фазового состава покрытий на основе оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Взаимодействие ионов с поверхностью (ВИП - 2013); Т. 1. 2013, 2013.
MLA (9th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ), et al. Исследование структуры, элементного и фазового состава покрытий на основе оксинитридов титана осажденных методом реактивного магнетронного распыления; Взаимодействие ионов с поверхностью (ВИП - 2013); Т. 1. 2013, 2013.