Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ), Arysheva G. V. Galina Vladislavovna, Ivanova N. M. Nina Mikhailovna, Pustovalova A. A. Alla Aleksandrovna, & Konishchev M. E. Maksim Evgenievich. (2015). Surface Morphology of Titanium Oxide and Oxynitride Coatings Deposited by Reactive Magnetron Sputtering; Advanced Materials Research; Vol. 1085: Prospects of Fundamental Sciences Development (PFSD-2014). 2015. https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/AMR.1085.134
Chicago Style (17th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ), Arysheva G. V. Galina Vladislavovna, Ivanova N. M. Nina Mikhailovna, Pustovalova A. A. Alla Aleksandrovna, and Konishchev M. E. Maksim Evgenievich. Surface Morphology of Titanium Oxide and Oxynitride Coatings Deposited by Reactive Magnetron Sputtering; Advanced Materials Research; Vol. 1085: Prospects of Fundamental Sciences Development (PFSD-2014). 2015, 2015. https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/AMR.1085.134.
MLA (9th ed.) CitationНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ), et al. Surface Morphology of Titanium Oxide and Oxynitride Coatings Deposited by Reactive Magnetron Sputtering; Advanced Materials Research; Vol. 1085: Prospects of Fundamental Sciences Development (PFSD-2014). 2015, 2015. https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/AMR.1085.134.