Численный анализ влияния окисления алюминиевой металлизации на характеристики интегральной схемы

Численный анализ влияния окисления алюминиевой металлизации на характеристики интегральной схемы

Bibliographic Details
Parent link:	Инженерная физика: научно-технический журнал/ ООО Издательство "Научтехлитиздат".— , 1998- № 8.— 2009.— [С. 21-26]
Main Author:	Кузнецов Г. В. Гений Владимирович
Other Authors:	Мамонтов Г. Я. Геннадий Яковлевич, Титов А. В.
Summary:	Заглавие с экрана Выполнено численное моделирование процесса окисления алюминиевой металлизации интегральной микросхемы парами воды. Решены уравнения теплопроводности и диффузии окислителя в оксидном слое металла. Проведена оценка масштабов влияния коррозии алюминиевой металлизации на характеристики интегральной схемы. Computer simulation of metallization oxidation process was made in the integrated circuit. Reaction of oxidation of aluminum metallization with water steam was considered. The thermal-conductivity equation and diffusion equation of oxidizer in oxide layer of metal are solved. The influence scale of oxidation process on characteristics of the integrated circuit is shown. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Language:	Russian
Published:	2009
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ электроника интегральные схемы окисление теплопроводность металлические покрытия
Online Access:	http://elibrary.ru/item.asp?id=12847252
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=640776

Similar Items

Биметаллические AuPd катализаторы для селективного окисления 5-гидроксиметилфурфураля автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата химических наук спец. 1.4.4
by: Тимофеев К. Л. Константин Леонидович
Published: (Томск, 2024)

Транзисторно-транзисторные логические схемы
by: Шагурин И. И. Игорь Иванович
Published: (Москва, Советское радио, 1974)

Операционные усилители и линейные интегральные схемы пер. с англ.
by: Кофлин Р. Ф.
Published: (Москва, Мир, 1979)

Исследование воздействия реактивного ионного и плазмохимического травления на морфологию поверхности алмазных покрытий
by: Охотников В. В. Виталий Владимирович
Published: (2016)

Аналоговые полупроводниковые интегральные схемы СВЧ
by: Данилин В. Н. Валентин Николаевич
Published: (Москва, Радио и связь, 1985)

Исследование процессов окисления гидрофильной алюминиевой пудры марок RA 20-RA 60 воздухом
by: Шалабаева М. А.
Published: (2017)

Транзисторно-транзисторные логические интегральные схемы и их применение пер. с англ.
by: Скарлетт Дж.
Published: (Москва, Мир, 1974)

Элементы интегральной оптики
by: Свечников Г. С. Георий Сергеевич
Published: (Москва, Радио и связь, 1987)

Технология металлизации распылением
by: Антошин Е. В.
Published: (Москва, Машгиз, 1944)

Формирование интегральной системы управления
by: Толстова И. М.
Published: (2008)

Высокотемпературные защитные покрытия для никелевых сплавов
by: Коломыцев П. Т. Петр Тимофеевич
Published: (Москва, Металлургия, 1991)

Взаимозаменяемые интегральные схемы
by: Нефедов А. В. Анатолий Владимирович
Published: (Москва, РадиоСофт, 2003)

Микроструктуры интегральной электроники
by: Бузанева Е. В. Евгения Викторовна
Published: (Москва, Радио и связь, 1990)

Механизмы реакций окисления-восстановления пер. с англ.
by: Терни Т.
Published: (Москва, Мир, 1968)

Исследование влияния условий совместного электрохимического окисления меди и алюминия на скорость окисления меди
by: Усольцева Н. В. Наталья Васильевна
Published: (2013)

Формирование интегральной системы управления предприятием
by: Толстова И. М.
Published: (2008)

Пленочная электроника и полупроводниковые интегральные схемы учебное пособие
by: Богдан Г. И. Галина Ивановна
Published: (Киев, Вища школа, 1979)

Кинетика анодного окисления сплавов
by: Бутаков А. А.
Published: (2002)

Численный анализ влияния коэффициента заполнения на интенсивность теплопереноса в закрытом двухфазном термосифоне
by: Вергун А. П. Анатолий Павлович
Published: (2016)

Защита вольфрама от окисления при высоких температурах
Published: (Москва, Атомиздат, 1968)

Оценка надежности типичного транзистора в условиях окисления металла
by: Кузнецов Г. В. Гений Владимирович
Published: (2008)

Многослойное покрытие ZrO2/Cr для защиты циркониевого сплава Э110 от высокотемпературного окисления
Published: (2023)

Интегральные схемы. Материалы, приборы, изготовление пер. с англ.
by: Тилл У. Уильям
Published: (Москва, Мир, 1985)

К исследованию теплопроводных качеств сверхтонких теплоизоляционных покрытий
by: Березина В. П.
Published: (2018)

Определение толщины и пористости металлических покрытий: методические указания
Published: (Казань, КНИТУ, 2018)

Ч. 1: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование
by: Королев М. А. Михаил Александрович
Published: (2009)

Безопасность применения титана в автоклавных процессах цветной металлургии с применением газообразного кислорода
by: Болобов В. И.
Published: (Санкт-Петербург, Лань, 2022)

Размерные и структурные эффекты в процессах окисления металлов монография
by: Коршунов А. В. Андрей Владимирович
Published: (Томск, Изд-во ТПУ, 2013)

Численный и статистический анализ влияния размера зерна на характеристики деформационного рельефа в поликристаллических образцах
Published: (2014)

Продукты окисления нефтяных углеводородов
by: Варламов В. С.
Published: (Ленинград, Пищепромиздат, 1937)

Особенности температурных условий формирования многослойных покрытий при газодинамическом напылении
by: Ян Сяо
Published: (2016)

Окислительно-восстановительные реакции. Электродные потенциалы конспект лекций
by: Гаврилова И. В. Инна Витальевна
Published: (СПб., Изд-во СЗПИ, 1991)

Исследование влияния магния на активность алюмомедномагнийхромовых катализаторов в реакции окисления метана
by: Церешко Н. А.
Published: (2017)

Влияние условий жидкофазного высокотемпературного окисления гексадекана на механизм процесса
Published: (2004)

Зарубежные интегральные микросхемы широкого применения Справочник
by: Кутыркин Ю. М. Юрий Михайлович
Published: (Москва, Энергоатомиздат, 1984)

Влияния минеральных добавок на свойства водно-дисперсионных лакокрасочных покрытий
by: Мощенко Е. М.
Published: (2022)

Simulation of influence of metal fibers on solid burning systems
by: Borisov B. V. Boris Vladimirovich
Published: (2015)

Интегральные схемы в наносекундной ядерной электронике
by: Мелешко Е. А. Евгений Алексеевич
Published: (Москва, Атомиздат, 1977)

Защита от коррозии Покрытия металлические и неметаллические неорганические
Published: (Москва, Изд-во стандартов, 1990)

Т. 17
Published: (1991)