Численный анализ влияния окисления алюминиевой металлизации на характеристики интегральной схемы; Инженерная физика; № 8
| Parent link: | Инженерная физика: научно-технический журнал/ ООО Издательство "Научтехлитиздат".— , 1998- № 8.— 2009.— [С. 21-26] |
|---|---|
| Yazar: | |
| Diğer Yazarlar: | , |
| Özet: | Заглавие с экрана Выполнено численное моделирование процесса окисления алюминиевой металлизации интегральной микросхемы парами воды. Решены уравнения теплопроводности и диффузии окислителя в оксидном слое металла. Проведена оценка масштабов влияния коррозии алюминиевой металлизации на характеристики интегральной схемы. Computer simulation of metallization oxidation process was made in the integrated circuit. Reaction of oxidation of aluminum metallization with water steam was considered. The thermal-conductivity equation and diffusion equation of oxidizer in oxide layer of metal are solved. The influence scale of oxidation process on characteristics of the integrated circuit is shown. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Dil: | Rusça |
| Baskı/Yayın Bilgisi: |
2009
|
| Konular: | |
| Online Erişim: | http://elibrary.ru/item.asp?id=12847252 |
| Materyal Türü: | Elektronik Kitap Bölümü |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=640776 |
MARC
| LEADER | 00000naa0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 640776 | ||
| 005 | 20250310110007.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\network\5349 | ||
| 035 | |a RU\TPU\network\5348 | ||
| 090 | |a 640776 | ||
| 100 | |a 20150424d2009 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drnn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Численный анализ влияния окисления алюминиевой металлизации на характеристики интегральной схемы |d Numerical analysis of oxidation influence of aluminium metallization on characteristics the integrated |f Г. В. Кузнецов, Г. Я. Мамонтов, А. В. Титов | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 330 | |a Выполнено численное моделирование процесса окисления алюминиевой металлизации интегральной микросхемы парами воды. Решены уравнения теплопроводности и диффузии окислителя в оксидном слое металла. Проведена оценка масштабов влияния коррозии алюминиевой металлизации на характеристики интегральной схемы. | ||
| 330 | |a Computer simulation of metallization oxidation process was made in the integrated circuit. Reaction of oxidation of aluminum metallization with water steam was considered. The thermal-conductivity equation and diffusion equation of oxidizer in oxide layer of metal are solved. The influence scale of oxidation process on characteristics of the integrated circuit is shown. | ||
| 333 | |a Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса | ||
| 461 | |t Инженерная физика |o научно-технический журнал |f ООО Издательство "Научтехлитиздат" |d 1998- | ||
| 463 | |t № 8 |v [С. 21-26] |d 2009 | ||
| 510 | 1 | |a Numerical analysis of oxidation influence of aluminium metallization on characteristics the integrated |z eng | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a электроника | |
| 610 | 1 | |a интегральные схемы | |
| 610 | 1 | |a окисление | |
| 610 | 1 | |a теплопроводность | |
| 610 | 1 | |a металлические покрытия | |
| 700 | 1 | |a Кузнецов |b Г. В. |c специалист в области теплоэнергетики |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1949- |g Гений Владимирович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25528 |9 11458 | |
| 701 | 1 | |a Мамонтов |b Г. Я. |c математик |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1945-2023 |g Геннадий Яковлевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\35352 |9 18593 | |
| 701 | 1 | |a Титов |b А. В. | |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20151016 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://elibrary.ru/item.asp?id=12847252 | |
| 942 | |c CF | ||