Магнетронное осаждение просветляющих слоев в низкоэмиссионном покрытии типа TiO₂-Cu-TiO₂

Магнетронное осаждение просветляющих слоев в низкоэмиссионном покрытии типа TiO₂-Cu-TiO₂

Bibliographic Details
Parent link:Известия вузов. Физика/ Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957-
Т. 56, № 11/3.— 2013.— [С. 26-29]
Corporate Author: Национальный исследовательский Томский политехнический университет
Other Authors: Юрьев Ю. Н. Юрий Николаевич, Сиделёв Д. В. Дмитрий Владимирович, Баинов Д. Д. Даши Дамбаевич, Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Summary:Заглавие с экрана
Были исследованы режимы работы различных типов магнетронных распылительных систем (МРС) при работе в среде реакционного газа при осаждении диоксида титана (TiO 2). Показано, что скорость осаждения просветляющих слоев TiO 2 зависит от конструкции МРС и типа электрического питания. На примере низкоэмиссионного покрытия, имеющего структуру TiO 2-Cu-TiO 2, показаны преимущества и недостатки различных конструкций МРС.
Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Language:Russian
Published: 2013
Subjects:
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
магнетронное распыление
дуальный магнетрон
реактивное осаждение
просветляющий слой
низкоэмиссионные покрытия
Online Access:http://elibrary.ru/item.asp?id=21217987
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=640297

Similar Items

Similar Items