Магнетронное осаждение просветляющих слоев в низкоэмиссионном покрытии типа TiO₂-Cu-TiO₂; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 11/3
| Parent link: | Известия вузов. Физика/ Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 56, № 11/3.— 2013.— [С. 26-29] |
|---|---|
| Autor Corporativo: | |
| Outros autores: | , , , |
| Summary: | Заглавие с экрана Были исследованы режимы работы различных типов магнетронных распылительных систем (МРС) при работе в среде реакционного газа при осаждении диоксида титана (TiO 2). Показано, что скорость осаждения просветляющих слоев TiO 2 зависит от конструкции МРС и типа электрического питания. На примере низкоэмиссионного покрытия, имеющего структуру TiO 2-Cu-TiO 2, показаны преимущества и недостатки различных конструкций МРС. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Idioma: | ruso |
| Publicado: |
2013
|
| Subjects: | |
| Acceso en liña: | http://elibrary.ru/item.asp?id=21217987 |
| Formato: | Electrónico Capítulo de libro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=640297 |