Магнетронное осаждение просветляющих слоев в низкоэмиссионном покрытии типа TiO₂-Cu-TiO₂; Известия вузов. Физика; Т. 56, № 11/3
| Parent link: | Известия вузов. Физика/ Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 56, № 11/3.— 2013.— [С. 26-29] |
|---|---|
| Institution som forfatter: | |
| Andre forfattere: | , , , |
| Summary: | Заглавие с экрана Были исследованы режимы работы различных типов магнетронных распылительных систем (МРС) при работе в среде реакционного газа при осаждении диоксида титана (TiO 2). Показано, что скорость осаждения просветляющих слоев TiO 2 зависит от конструкции МРС и типа электрического питания. На примере низкоэмиссионного покрытия, имеющего структуру TiO 2-Cu-TiO 2, показаны преимущества и недостатки различных конструкций МРС. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Sprog: | russisk |
| Udgivet: |
2013
|
| Fag: | |
| Online adgang: | http://elibrary.ru/item.asp?id=21217987 |
| Format: | Electronisk Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=640297 |
MARC
| LEADER | 00000naa0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 640297 | ||
| 005 | 20260209150816.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\network\4843 | ||
| 035 | |a RU\TPU\network\4840 | ||
| 090 | |a 640297 | ||
| 100 | |a 20150414d2013 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drnn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Магнетронное осаждение просветляющих слоев в низкоэмиссионном покрытии типа TiO₂-Cu-TiO₂ |f Ю. Н. Юрьев [и др.] | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: 6 назв.] | ||
| 330 | |a Были исследованы режимы работы различных типов магнетронных распылительных систем (МРС) при работе в среде реакционного газа при осаждении диоксида титана (TiO 2). Показано, что скорость осаждения просветляющих слоев TiO 2 зависит от конструкции МРС и типа электрического питания. На примере низкоэмиссионного покрытия, имеющего структуру TiO 2-Cu-TiO 2, показаны преимущества и недостатки различных конструкций МРС. | ||
| 333 | |a Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса | ||
| 461 | |t Известия вузов. Физика |f Томский государственный университет (ТГУ) |d 1957- | ||
| 463 | |t Т. 56, № 11/3 |v [С. 26-29] |d 2013 | ||
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a магнетронное распыление | |
| 610 | 1 | |a дуальный магнетрон | |
| 610 | 1 | |a реактивное осаждение | |
| 610 | 1 | |a просветляющий слой | |
| 610 | 1 | |a низкоэмиссионные покрытия | |
| 701 | 1 | |a Юрьев |b Ю. Н. |c специалист в области водородной энергетики |c заведующий лабораторией Томского политехнического университета, младший научный сотрудник |f 1984- |g Юрий Николаевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\30543 |9 14839 | |
| 701 | 1 | |a Сиделёв |b Д. В. |c физик |c доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук |f 1991- |g Дмитрий Владимирович |y Томск |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\34510 |9 17891 | |
| 701 | 1 | |a Баинов |b Д. Д. |c специалист в области плазменных технологий |c научный сотрудник Томского политехнического университета, кандидат технических наук |f 1978- |g Даши Дамбаевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\31142 |9 15338 | |
| 701 | 1 | |a Кривобоков |b В. П. |c физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1948- |g Валерий Павлович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\21971 |9 9290 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет |c (2009- ) |9 26305 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20160407 |g RCR | |
| 850 | |a 63413507 | ||
| 856 | 4 | |u http://elibrary.ru/item.asp?id=21217987 | |
| 942 | |c CF | ||