Устройство для транспортировки подложек в вакуумной установке: полезная модель

Устройство для транспортировки подложек в вакуумной установке: полезная модель

Бібліографічні деталі
Автор:	Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Співавтор:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет
Інші автори:	Баинов Д. Д. Даши Дамбаевич, Асаинов О. Х. Олег Хайдарович
Резюме:	опубл. 10.08.14 Полезная модель относится к системам перемещения подложек внутри вакуумной установки.
Мова:	Російська
Опубліковано:
Предмети:	патенты труды учёных ТПУ электронный ресурс изобретения полезные модели транспортировка подложки вакуумные установки перемещения
Онлайн доступ:	http://www1.fips.ru/fips_servl/fips_servlet?DB=RUPM&rn=3565&DocNumber=143848&TypeFile=html
Формат:	Електронний ресурс Книга
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=640210

Схожі ресурси

Устройство для поверки шунтов: полезная модель
Опубліковано: ()

Устройство для крепления стержней-подложек в реакторе выращивания поликристаллического кремния
Опубліковано: ()

Устройство для поверки шунтов: полезная модель
за авторством: Муравьев С. В. Сергей Васильевич
Опубліковано: ()

Трехфазный асинхронный двигатель: полезная модель
за авторством: Баранов П. Р. Павел Рудольфович
Опубліковано: ()

Индукционная электрохимическая установка: полезная модель
за авторством: Образцов С. В. Сергей Викторович
Опубліковано: ()

Устройство для радиального магнитоимпульсного прессования изделий из порошковых материалов: полезная модель
Опубліковано: ()

Индукционная электрохимическая установка: полезная модель
за авторством: Образцов С. В. Сергей Викторович
Опубліковано: ()

Устройство для травления и одновременной регенерации травильных растворов: полезная модель
Опубліковано: ()

Устройство для определения параметров асинхронного электродвигателя: полезная модель
Опубліковано: ()

Устройство для идентификации объектов управления: полезная модель
за авторством: Гончаров В. И. Валерий Иванович
Опубліковано: ()

Коаксиальный магнитоплазменный ускоритель: полезная модель
за авторством: Сивков А. А. Александр Анатольевич
Опубліковано: ()

Установка для очистки дренажных труб: полезная модель
Опубліковано: ()

Ветроэлектростанция: полезная модель
за авторством: Лукутин Б. В. Борис Владимирович
Опубліковано: ()

Устройство для определения коэффициента трения скольжения: полезная модель
Опубліковано: ()

Дизельная электростанция: полезная модель
Опубліковано: ()

Устройство для испытания асинхронных тяговых электродвигателей: полезная модель
за авторством: Рапопорт О. Л. Олег Лазаревич
Опубліковано: ()

Циклоидный каток: полезная модель
за авторством: Соколов А. П. Александр Петрович
Опубліковано: ()

Устройство для оценки электрических свойств головного мозга: полезная модель
Опубліковано: ()

Излучатель бетатрона: полезная модель
Опубліковано: ()

Устройство для испытания материалов на трение: полезная модель
за авторством: Соколов А. П. Александр Петрович
Опубліковано: ()

Двухполосная лента: полезная модель
за авторством: Подзорова Е. А. Елена Анатольевна
Опубліковано: ()

Машина трения: полезная модель
за авторством: Соколов А. П. Александр Петрович
Опубліковано: ()

Автономный инвертор: полезная модель
Опубліковано: ()

Устройство для определения закупоривающей способности бурового раствора с наполнителем: полезная модель
за авторством: Чубик П. С. Петр Савельевич
Опубліковано: ()

Индукционная электрохимическая установка: полезная модель
за авторством: Образцов С. В. Сергей Викторович
Опубліковано: ()

Индукционная электрохимическая установка: полезная модель
за авторством: Образцов С. В. Сергей Викторович
Опубліковано: ()

Индукционная электрохимическая установка: полезная модель
за авторством: Образцов С. В. Сергей Викторович
Опубліковано: ()

Устройство для оперативного контроля и защиты обмоток трансформатора: полезная модель
за авторством: Гольдштейн Е. И. Ефрем Иосифович
Опубліковано: ()

Индуктивный делитель напряжения: полезная модель
за авторством: Ким В. Л. Валерий Львович
Опубліковано: ()

Рабочий снаряд для очистки фильтров станций обезжелезивания воды: полезная модель
Опубліковано: ()

Параллельный инвертор: полезная модель
за авторством: Багинский Б. А. Борис Антонович
Опубліковано: ()

Устройство для разрушения резинотехнических изделий высоковольтными импульсными разрядами: полезная модель
за авторством: Филатов Г. П. Геннадий Петрович
Опубліковано: ()

Индукционная электрохимическая установка: полезная модель
за авторством: Образцов С. В. Сергей Викторович
Опубліковано: ()

Устройство для рентгеновского абсорбционного спектрального анализа: полезная модель
за авторством: Гоголев А. С. Алексей Сергеевич
Опубліковано: ()

Гаситель колебаний ударного типа: полезная модель
за авторством: Гаврилин А. Н. Алексей Николаевич
Опубліковано: ()

Устройство для определения мгновенных значений индуктивности намагничивания однофазного трансформ: полезная модель
за авторством: Гольдштейн Е. И. Ефрем Иосифович
Опубліковано: ()

Забойный шаропитатель: полезная модель
Опубліковано: ()

Система адаптивного управления нестационарным объектом: полезная модель
за авторством: Букреев В. Г. Виктор Григорьевич
Опубліковано: ()

Маскировочное устройство: полезная модель
Опубліковано: ()

Устройство для подсоединения диагностического оборудования и перераспределения потоков при диагностировании гидросистем: полезная модель
Опубліковано: ()