Устройство для транспортировки подложек в вакуумной установке полезная модель

Устройство для транспортировки подложек в вакуумной установке, полезная модель

Bibliographic Details
Main Author: Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Corporate Author: Национальный исследовательский Томский политехнический университет
Other Authors: Баинов Д. Д. Даши Дамбаевич, Асаинов О. Х. Олег Хайдарович
Summary:опубл. 10.08.14
Полезная модель относится к системам перемещения подложек внутри вакуумной установки.
Published:
Subjects:
патенты
труды учёных ТПУ
электронный ресурс
изобретения
полезные модели
транспортировка
подложки
вакуумные установки
перемещения
Online Access:http://www1.fips.ru/fips_servl/fips_servlet?DB=RUPM&rn=3565&DocNumber=143848&TypeFile=html
Format: Electronic Book
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=640210

Similar Items

Similar Items