Устройство для транспортировки подложек в вакуумной установке, полезная модель

Bibliographic Details
Main Author:	Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет
Other Authors:	Баинов Д. Д. Даши Дамбаевич, Асаинов О. Х. Олег Хайдарович
Summary:	опубл. 10.08.14 Полезная модель относится к системам перемещения подложек внутри вакуумной установки.
Published:
Subjects:	патенты труды учёных ТПУ электронный ресурс изобретения полезные модели транспортировка подложки вакуумные установки перемещения
Online Access:	http://www1.fips.ru/fips_servl/fips_servlet?DB=RUPM&rn=3565&DocNumber=143848&TypeFile=html
Format:	Electronic Book
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=640210

Internet