Устройство для транспортировки подложек в вакуумной установке: полезная модель

Podrobná bibliografie
Hlavní autor:	Кривобоков В. П. Валерий Павлович
Korporativní autor:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет
Další autoři:	Баинов Д. Д. Даши Дамбаевич, Асаинов О. Х. Олег Хайдарович
Shrnutí:	опубл. 10.08.14 Полезная модель относится к системам перемещения подложек внутри вакуумной установки.
Jazyk:	ruština
Vydáno:
Témata:	патенты труды учёных ТПУ электронный ресурс изобретения полезные модели транспортировка подложки вакуумные установки перемещения
On-line přístup:	http://www1.fips.ru/fips_servl/fips_servlet?DB=RUPM&rn=3565&DocNumber=143848&TypeFile=html
Médium:	Elektronický zdroj Kniha
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=640210

Internet