|
|
|
|
| LEADER |
00000nlm0a2200000 4500 |
| 001 |
640210 |
| 005 |
20250505151721.0 |
| 029 |
1 |
0 |
|a RU
|b 143848
|c Пат.
|d МПК C 23 C 14/50
|d МПК C 23 C 14/56
|
| 035 |
|
|
|a (RuTPU)RU\TPU\network\4756
|
| 035 |
|
|
|a RU\TPU\network\4519
|
| 039 |
0 |
|
|a RU
|b 2014102843/02
|c 20140128
|
| 090 |
|
|
|a 640210
|
| 100 |
|
|
|a 20150413j20140810k y0rusy50 ca
|
| 101 |
0 |
|
|a rus
|
| 102 |
|
|
|a RU
|
| 105 |
|
|
|a a k 000zy
|
| 135 |
|
|
|a drcn ---uucaa
|
| 181 |
|
0 |
|a i
|
| 182 |
|
0 |
|a b
|
| 200 |
1 |
|
|a Устройство для транспортировки подложек в вакуумной установке
|e полезная модель
|f В. П. Кривобоков, Д. Д. Баинов, О. Х. Асаинов
|g Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)
|
| 203 |
|
|
|a Текст
|c электронный
|
| 300 |
|
|
|a опубл. 10.08.14
|
| 330 |
|
|
|a Полезная модель относится к системам перемещения подложек внутри вакуумной установки.
|
| 610 |
1 |
|
|a патенты
|
| 610 |
1 |
|
|a труды учёных ТПУ
|
| 610 |
1 |
|
|a электронный ресурс
|
| 610 |
1 |
|
|a изобретения
|
| 610 |
1 |
|
|a полезные модели
|
| 610 |
1 |
|
|a транспортировка
|
| 610 |
1 |
|
|a подложки
|
| 610 |
1 |
|
|a вакуумные установки
|
| 610 |
1 |
|
|a перемещения
|
| 700 |
|
1 |
|a Кривобоков
|b В. П.
|c физик
|c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук
|f 1948-
|g Валерий Павлович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\21971
|9 9290
|
| 701 |
|
1 |
|a Баинов
|b Д. Д.
|c специалист в области плазменных технологий
|c научный сотрудник Томского политехнического университета, кандидат технических наук
|f 1978-
|g Даши Дамбаевич
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\31142
|9 15338
|
| 701 |
|
1 |
|a Асаинов
|b О. Х.
|c физик
|c заведующий лабораторией Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук
|f 1957-
|g Олег Хайдарович
|3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25109
|
| 712 |
0 |
2 |
|a Национальный исследовательский Томский политехнический университет
|c (2009- )
|9 26305
|
| 801 |
|
1 |
|a RU
|b 63413507
|c 20120201
|
| 801 |
|
2 |
|a RU
|b 63413507
|c 20160607
|g RCR
|
| 850 |
|
|
|a 63413507
|
| 856 |
4 |
|
|u http://www1.fips.ru/fips_servl/fips_servlet?DB=RUPM&rn=3565&DocNumber=143848&TypeFile=html
|
| 942 |
|
|
|c CF
|
