Analysis of Magnetron-Deposited Titanium Oxynitride Coatings by Scanning Electron Microscopy and Raman Scattering

Manylion Llyfryddiaeth
Parent link:Advanced Materials Research : Radiation and nuclear techniques in material science: Scientific Journal
Vol. 1084 : Physical-Technical Problems of Nuclear Science, Energy Generation, and Power Industry (PTPAI -2014).— 2015.— [P. 3-6]
Awduron Corfforaethol: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт неразрушающего контроля (ИНК) Кафедра промышленной и медицинской электроники (ПМЭ), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра общей физики (ОФ)
Awduron Eraill: Arysheva G. V. Galina Vladislavovna, Ivanova N. M. Nina Mikhailovna, Konishchev M. E. Maksim Evgenievich, Pustovalova A. A. Alla Aleksandrovna, Sypchenko V. S. Vladimir Sergeevich
Crynodeb:Title screen
The results of study of surface morphology and chemical composition of biocompatible titanium oxide and oxynitride coatings deposited by the method of reactive magnetron sputtering are presented in this paper. The distribution of coating’s fragments in size was obtained. Molecular composition of the coatings was obtained by scanning electron microscopy and Raman scattering.
Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Iaith:Saesneg
Cyhoeddwyd: 2015
Cyfres:Materials Science and Technologies
Pynciau:
Mynediad Ar-lein:http://dx.doi.org/10.4028/www.scientific.net/AMR.1084.3
Fformat: Electronig Pennod Llyfr
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=640183

MARC

LEADER 00000naa2a2200000 4500
001 640183
005 20241125140844.0
035 |a (RuTPU)RU\TPU\network\4729 
035 |a RU\TPU\network\474 
090 |a 640183 
100 |a 20150413a2015 k y0engy50 ba 
101 0 |a eng 
105 |a y z 100zy 
135 |a drcn ---uucaa 
181 0 |a i  
182 0 |a b 
200 1 |a Analysis of Magnetron-Deposited Titanium Oxynitride Coatings by Scanning Electron Microscopy and Raman Scattering  |f G. V. Arysheva [et al.] 
203 |a Text  |c electronic 
225 1 |a Materials Science and Technologies 
300 |a Title screen 
330 |a The results of study of surface morphology and chemical composition of biocompatible titanium oxide and oxynitride coatings deposited by the method of reactive magnetron sputtering are presented in this paper. The distribution of coating’s fragments in size was obtained. Molecular composition of the coatings was obtained by scanning electron microscopy and Raman scattering. 
333 |a Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса 
461 1 |0 (RuTPU)RU\TPU\network\4598  |t Advanced Materials Research : Radiation and nuclear techniques in material science  |o Scientific Journal 
463 1 |0 (RuTPU)RU\TPU\network\4600  |t Vol. 1084 : Physical-Technical Problems of Nuclear Science, Energy Generation, and Power Industry (PTPAI -2014)  |o The VIth International Conference, June 5-7, 2014, Tomsk, Russia  |o [proceedings]  |f National Research Tomsk Polytechnic University (TPU)  |v [P. 3-6]  |d 2015 
610 1 |a электронный ресурс 
610 1 |a труды учёных ТПУ 
610 1 |a магнетронное осаждение 
610 1 |a покрытия 
610 1 |a сканирующая микроскопия 
610 1 |a сканирующая электронная микроскопия 
610 1 |a комбинационное рассеяние 
610 1 |a магнетронное распыление 
610 1 |a морфология 
610 1 |a оксид титана 
701 1 |a Arysheva  |b G. V.  |c specialist in the field of electronics  |c Assistant of Tomsk Polytechnic University, Candidate of technical sciences  |f 1983-  |g Galina Vladislavovna  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\34229  |9 17760 
701 1 |a Ivanova  |b N. M.  |c physicist  |c senior assistant of Tomsk Polytechnic University  |f 1991-  |g Nina Mikhailovna  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\34210 
701 1 |a Konishchev  |b M. E.  |c physicist  |c Senior Lecturer of Tomsk Polytechnic University  |f 1987-  |g Maksim Evgenievich  |y Tomsk  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\34212  |9 17743 
701 1 |a Pustovalova  |b A. A.  |c biophysicist  |c engineer of Tomsk Polytechnic University  |f 1989-  |g Alla Aleksandrovna  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\34214 
701 1 |a Sypchenko  |b V. S.  |c physicist  |c Associate Professor of Tomsk Polytechnic University, Candidate of Sciences  |f 1987-  |g Vladimir Sergeevich  |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\33791  |9 17389 
712 0 2 |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)  |b Институт неразрушающего контроля (ИНК)  |b Кафедра промышленной и медицинской электроники (ПМЭ)  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\18719 
712 0 2 |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)  |b Физико-технический институт (ФТИ)  |b Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ)  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\18726 
712 0 2 |a Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)  |b Физико-технический институт (ФТИ)  |b Кафедра общей физики (ОФ)  |3 (RuTPU)RU\TPU\col\18734 
801 2 |a RU  |b 63413507  |c 20161228  |g RCR 
856 4 |u http://dx.doi.org/10.4028/www.scientific.net/AMR.1084.3 
942 |c BK