Analysis of Magnetron-Deposited Titanium Oxynitride Coatings by Scanning Electron Microscopy and Raman Scattering

Analysis of Magnetron-Deposited Titanium Oxynitride Coatings by Scanning Electron Microscopy and Raman Scattering

Bibliographic Details
Parent link:	Advanced Materials Research : Radiation and nuclear techniques in material science: Scientific Journal Vol. 1084 : Physical-Technical Problems of Nuclear Science, Energy Generation, and Power Industry (PTPAI -2014).— 2015.— [P. 3-6]
Corporate Authors:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт неразрушающего контроля (ИНК) Кафедра промышленной и медицинской электроники (ПМЭ), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра общей физики (ОФ)
Other Authors:	Arysheva G. V. Galina Vladislavovna, Ivanova N. M. Nina Mikhailovna, Konishchev M. E. Maksim Evgenievich, Pustovalova A. A. Alla Aleksandrovna, Sypchenko V. S. Vladimir Sergeevich
Summary:	Title screen The results of study of surface morphology and chemical composition of biocompatible titanium oxide and oxynitride coatings deposited by the method of reactive magnetron sputtering are presented in this paper. The distribution of coating’s fragments in size was obtained. Molecular composition of the coatings was obtained by scanning electron microscopy and Raman scattering. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Published:	2015
Series:	Materials Science and Technologies
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ магнетронное осаждение покрытия сканирующая микроскопия сканирующая электронная микроскопия комбинационное рассеяние магнетронное распыление морфология оксид титана
Online Access:	http://dx.doi.org/10.4028/www.scientific.net/AMR.1084.3
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=640183

Internet

http://dx.doi.org/10.4028/www.scientific.net/AMR.1084.3