Analysis of Magnetron-Deposited Titanium Oxynitride Coatings by Scanning Electron Microscopy and Raman Scattering

Analysis of Magnetron-Deposited Titanium Oxynitride Coatings by Scanning Electron Microscopy and Raman Scattering

Бібліографічні деталі
Parent link:Advanced Materials Research : Radiation and nuclear techniques in material science: Scientific Journal
Vol. 1084 : Physical-Technical Problems of Nuclear Science, Energy Generation, and Power Industry (PTPAI -2014).— 2015.— [P. 3-6]
Співавтори: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт неразрушающего контроля (ИНК) Кафедра промышленной и медицинской электроники (ПМЭ), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ), Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Физико-технический институт (ФТИ) Кафедра общей физики (ОФ)
Інші автори: Arysheva G. V. Galina Vladislavovna, Ivanova N. M. Nina Mikhailovna, Konishchev M. E. Maksim Evgenievich, Pustovalova A. A. Alla Aleksandrovna, Sypchenko V. S. Vladimir Sergeevich
Резюме:Title screen
The results of study of surface morphology and chemical composition of biocompatible titanium oxide and oxynitride coatings deposited by the method of reactive magnetron sputtering are presented in this paper. The distribution of coating’s fragments in size was obtained. Molecular composition of the coatings was obtained by scanning electron microscopy and Raman scattering.
Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Опубліковано: 2015
Серія:Materials Science and Technologies
Предмети:
электронный ресурс
труды учёных ТПУ
магнетронное осаждение
покрытия
сканирующая микроскопия
сканирующая электронная микроскопия
комбинационное рассеяние
магнетронное распыление
морфология
оксид титана
Онлайн доступ:http://dx.doi.org/10.4028/www.scientific.net/AMR.1084.3
Формат: Електронний ресурс Частина з книги
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=640183
Опис
Резюме:Title screen
The results of study of surface morphology and chemical composition of biocompatible titanium oxide and oxynitride coatings deposited by the method of reactive magnetron sputtering are presented in this paper. The distribution of coating’s fragments in size was obtained. Molecular composition of the coatings was obtained by scanning electron microscopy and Raman scattering.
Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
DOI:10.4028/www.scientific.net/AMR.1084.3

Схожі ресурси