Применение метода вторично-ионной масс-спектрометрии для измерения диффузионных профилей в ионных кристаллах

Bibliographic Details
Parent link:Фундаментальные проблемырадиоэлектронного приборостроения (INTERMATIC - 2014): материалы Международной научно-технической конференции, 1 - 5 декабря 2014 г., Москва/ Московский государственный технический университет радиотехники, электроники и автоматики (МГТУ МИРЭА).— , 2014
Ч. 1.— 2014.— [С. 199-122]
Main Author: Чернявский А. В. Александр Викторович
Corporate Author: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт неразрушающего контроля (ИНК) Проблемная научно-исследовательская лаборатория электроники, диэлектриков и полупроводников (ПНИЛ ЭДиП)
Summary:Заглавие с титульного листа
Published: 2014
Subjects:
Online Access:http://conf.mirea.ru/CD2014/pdf/p1/29.pdf
Format: Electronic Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=640166