О зависимости структурных параметров пленок Co от температуры подложки в процессе химического газофазного осаждения; Современное состояние естественных и технических наук
| Источник: | Современное состояние естественных и технических наук.— 2014.— [С. 27-29] |
|---|---|
| Главный автор: | |
| Автор-организация: | |
| Другие авторы: | |
| Примечания: | Заглавие с экрана Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Язык: | русский |
| Опубликовано: |
2014
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | http://elibrary.ru/item.asp?id=21340109 |
| Формат: | Электронный ресурс Статья |
| Запись в KOHA: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=639201 |