О зависимости структурных параметров пленок Co от температуры подложки в процессе химического газофазного осаждения; Современное состояние естественных и технических наук

Bibliografische gegevens
Parent link:	Современное состояние естественных и технических наук.— 2014.— [С. 27-29]
Hoofdauteur:	Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Coauteur:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Кафедра материаловедения в машиностроении (ММС)
Andere auteurs:	Доровских С. И.
Samenvatting:	Заглавие с экрана Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Taal:	Russisch
Gepubliceerd in:	2014
Onderwerpen:	электронный ресурс труды учёных ТПУ химическое осаждение газофазное осаждение пленки
Online toegang:	http://elibrary.ru/item.asp?id=21340109
Formaat:	Elektronisch Hoofdstuk
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=639201

Internet