О зависимости структурных параметров пленок Co от температуры подложки в процессе химического газофазного осаждения

Bibliographic Details
Parent link:	Современное состояние естественных и технических наук: материалы XIV Международной научно-практической конференции. [С. 27-29].— , 2014
Main Author:	Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Кафедра материаловедения в машиностроении (ММС)
Other Authors:	Доровских С. И.
Summary:	Заглавие с экрана Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Published:	2014
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ химическое осаждение газофазное осаждение пленки
Online Access:	http://elibrary.ru/item.asp?id=21340109
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=639201

Internet