О зависимости структурных параметров пленок Co от температуры подложки в процессе химического газофазного осаждения

Detalles Bibliográficos
Parent link:	Современное состояние естественных и технических наук.— 2014.— [С. 27-29]
Autor Principal:	Хайруллин Р. Р. Рустам Равильевич
Autor Corporativo:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Кафедра материаловедения в машиностроении (ММС)
Outros autores:	Доровских С. И.
Summary:	Заглавие с экрана Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Idioma:	ruso
Publicado:	2014
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ химическое осаждение газофазное осаждение пленки
Acceso en liña:	http://elibrary.ru/item.asp?id=21340109
Formato:	Electrónico Capítulo de libro
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=639201

Internet