Электродная структура микромеханического гироскопа
| Parent link: | Промышленные АСУ и контроллеры: научно-технический производственный журнал.— , 1999- № 7.— 2012.— [С. 62-66] |
|---|---|
| 団体著者: | |
| その他の著者: | , , , |
| 要約: | Заглавие с экрана В статье рассматриваются электродные структуры, которые используются в микромеханическом гироскопе в качестве датчиков перемещений, вибропривода и корректирующих устройств, прикладывающих усилия к подвижным элементам. Проведен аналитический расчет емкостей электродных структур и создаваемых ими сил с учетом краевых эффектов. The article deals with the electrode structures used in the micromechanical gyroscope as the sensitive, actuator, tuning, and control elements. The analytical modeling of capacitances of electrode structures and generated electrostatic forces taking into account the fringing field effects are performed. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| 出版事項: |
2012
|
| 主題: | |
| オンライン･アクセス: | http://elibrary.ru/item.asp?id=22263733 |
| フォーマット: | 電子媒体 図書の章 |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=638162 |
| 要約: | Заглавие с экрана В статье рассматриваются электродные структуры, которые используются в микромеханическом гироскопе в качестве датчиков перемещений, вибропривода и корректирующих устройств, прикладывающих усилия к подвижным элементам. Проведен аналитический расчет емкостей электродных структур и создаваемых ими сил с учетом краевых эффектов. The article deals with the electrode structures used in the micromechanical gyroscope as the sensitive, actuator, tuning, and control elements. The analytical modeling of capacitances of electrode structures and generated electrostatic forces taking into account the fringing field effects are performed. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
|---|