Электродная структура микромеханического гироскопа
| Parent link: | Промышленные АСУ и контроллеры: научно-технический производственный журнал.— , 1999- № 7.— 2012.— [С. 62-66] |
|---|---|
| Corporate Author: | |
| Other Authors: | , , , |
| Summary: | Заглавие с экрана В статье рассматриваются электродные структуры, которые используются в микромеханическом гироскопе в качестве датчиков перемещений, вибропривода и корректирующих устройств, прикладывающих усилия к подвижным элементам. Проведен аналитический расчет емкостей электродных структур и создаваемых ими сил с учетом краевых эффектов. The article deals with the electrode structures used in the micromechanical gyroscope as the sensitive, actuator, tuning, and control elements. The analytical modeling of capacitances of electrode structures and generated electrostatic forces taking into account the fringing field effects are performed. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Published: |
2012
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://elibrary.ru/item.asp?id=22263733 |
| Format: | Electronic Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=638162 |