Электродная структура микромеханического гироскопа; Промышленные АСУ и контроллеры; № 7

Detalhes bibliográficos
Parent link:Промышленные АСУ и контроллеры: научно-технический производственный журнал.— , 1999-
№ 7.— 2012.— [С. 62-66]
Autor Corporativo: Томский политехнический университет
Outros Autores: Нестеренко Т. Г. Тамара Георгиевна, Пересветов М. В., Коледа А. Н. Алексей Николаевич, Колчужин В. А.
Resumo:Заглавие с экрана
В статье рассматриваются электродные структуры, которые используются в микромеханическом гироскопе в качестве датчиков перемещений, вибропривода и корректирующих устройств, прикладывающих усилия к подвижным элементам. Проведен аналитический расчет емкостей электродных структур и создаваемых ими сил с учетом краевых эффектов.
The article deals with the electrode structures used in the micromechanical gyroscope as the sensitive, actuator, tuning, and control elements. The analytical modeling of capacitances of electrode structures and generated electrostatic forces taking into account the fringing field effects are performed.
Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Idioma:russo
Publicado em: 2012
Assuntos:
Acesso em linha:http://elibrary.ru/item.asp?id=22263733
Formato: Recurso Electrónico Capítulo de Livro
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=638162