Моделирование влияния технологических дефектов на характеристики упругих подвесов микроэлектромеханических систем; Промышленные АСУ и контроллеры; № 7

Մատենագիտական մանրամասներ
Parent link:	Промышленные АСУ и контроллеры: научно-технический производственный журнал.— , 1999- № 7.— 2013.— [С. 60-66]
Հիմնական հեղինակ:	Нестеренко Т. Г. Тамара Георгиевна
Համատեղ հեղինակ:	Томский политехнический университет
Այլ հեղինակներ:	Барбин Е. С. Евгений Сергеевич, Коледа А. Н. Алексей Николаевич
Ամփոփում:	Заглавие с экрана В статье рассматриваются торсионные подвесы микроэлектромеханических систем (МЭМС). Проведен анализ влияния технологических несовершенств изготовления МЭМС на характеристики упругих подвесов. В результате компьютерного конструирования созданы параметрические 3D-модели торсионных подвесов. Методом конечных элементов определены формы колебаний торсионов различной формы. Выявлены параметры, оказывающие наибольшее влияние на собственные частоты и коэффициенты жесткости упругих подвесов МЭМС. In the paper considered springing elements of microelectromechanical systems (MEMS). The influence analysis of technological imperfections of MEMS manufacturing on the characteristics springing elements was presented. By means of computer-aided design parametric 3D-model of the springing elements were created. Using the finite element method the mode shapes torsions of different designs were defined. The parameters which have the greatest impact on the eigenfrequencies and stiffness coefficients of springing elements MEMS were defined. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Լեզու:	ռուսերեն
Հրապարակվել է:	2013
Խորագրեր:	электронный ресурс труды учёных ТПУ микроэлектромеханические системы собственные частоты коэффициенты жесткостей упругие подвесы технологические дефекты
Առցանց հասանելիություն:	http://elibrary.ru/item.asp?id=21893321
Ձևաչափ:	Էլեկտրոնային Գրքի գլուխ
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=638161