Моделирование влияния технологических дефектов на характеристики упругих подвесов микроэлектромеханических систем; Промышленные АСУ и контроллеры; № 7

Моделирование влияния технологических дефектов на характеристики упругих подвесов микроэлектромеханических систем; Промышленные АСУ и контроллеры; № 7

Detaylı Bibliyografya
Parent link:	Промышленные АСУ и контроллеры: научно-технический производственный журнал.— , 1999- № 7.— 2013.— [С. 60-66]
Yazar:	Нестеренко Т. Г. Тамара Георгиевна
Müşterek Yazar:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет
Diğer Yazarlar:	Барбин Е. С. Евгений Сергеевич, Коледа А. Н. Алексей Николаевич
Özet:	Заглавие с экрана В статье рассматриваются торсионные подвесы микроэлектромеханических систем (МЭМС). Проведен анализ влияния технологических несовершенств изготовления МЭМС на характеристики упругих подвесов. В результате компьютерного конструирования созданы параметрические 3D-модели торсионных подвесов. Методом конечных элементов определены формы колебаний торсионов различной формы. Выявлены параметры, оказывающие наибольшее влияние на собственные частоты и коэффициенты жесткости упругих подвесов МЭМС. In the paper considered springing elements of microelectromechanical systems (MEMS). The influence analysis of technological imperfections of MEMS manufacturing on the characteristics springing elements was presented. By means of computer-aided design parametric 3D-model of the springing elements were created. Using the finite element method the mode shapes torsions of different designs were defined. The parameters which have the greatest impact on the eigenfrequencies and stiffness coefficients of springing elements MEMS were defined. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Dil:	Rusça
Baskı/Yayın Bilgisi:	2013
Konular:	электронный ресурс труды учёных ТПУ микроэлектромеханические системы собственные частоты коэффициенты жесткостей упругие подвесы технологические дефекты
Online Erişim:	http://elibrary.ru/item.asp?id=21893321
Materyal Türü:	Elektronik Kitap Bölümü
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=638161

Benzer Materyaller

Теория и применение электромагнитных подвесов
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Машиностроение, 1980)

Ёмкостные преобразователи микроэлектромеханических систем; Электромеханические преобразователи энергии
Yazar:: Бекишев Р. Ф. Рудольф Фридрихович
Baskı/Yayın Bilgisi: (2009)

Современные методы проектирования ёмкостных микроэлектромеханических систем; Электромеханические преобразователи энергии
Yazar:: Ляпунов Д. Ю. Данил Юрьевич
Baskı/Yayın Bilgisi: (2009)

Конструктивные и технологические особенности измерительно-преобразовательных микроэлектромеханических систем на основе кремниевых датчиков; Измерительная техника; № 8
Yazar:: Толстенок О. А.
Baskı/Yayın Bilgisi: (2004)

Анализ энергоэффективности диэлектрических материалов ёмкостных микроэлектромеханических систем; Электроэнергия: от получения и распределения до эффективного использования
Yazar:: Бекишев Р. Ф. Рудольф Фридрихович
Baskı/Yayın Bilgisi: (2008)

Технические перспективы модернизации и реконструкции электропривода газоперекачивающих агрегатов ОАО "Газром"; Промышленные АСУ и контроллеры; № 11
Yazar:: Медведев В. А.
Baskı/Yayın Bilgisi: (2006)

Статические методы калибровки бесплатформенных микроэлектромеханических датчиков ускорения в инерциальных навигационных системах; Современные техника и технологии; Т. 1
Yazar:: Шаврин В. В.
Baskı/Yayın Bilgisi: (2012)

Применение метода конечных элементов к расчету конструкций: учебное пособие
Yazar:: Хечумов Р. А. Револ Артемьевич
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Изд-во АСВ, 1994)

Исследование микроэлектромеханических емкостных преобразователей с пленочными элементами: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.01
Yazar:: Ляпунов Д. Ю. Данил Юрьевич
Baskı/Yayın Bilgisi: (Томск, 2010)

Виброзащитные устройства при использовании упругих сил электромагнитного подвеса; Вестник науки Сибири; № 1 (1)
Yazar:: Плотникова И. В. Инна Васильевна
Baskı/Yayın Bilgisi: (2011)

Исследование микроэлектромеханических емкостных преобразователей с пленочными элементами: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.01
Yazar:: Ляпунов Д. Ю. Данил Юрьевич
Baskı/Yayın Bilgisi: (Томск, 2010)

Математическое моделирование технологических машин учеб. пособие
Yazar:: Подгорный Ю. И.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Новосибирск, НГТУ, 2017)

Методы контроля геометрии сферических поверхностей для макета гироскопа с газодинамическим подвесом шарового ротора; Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых
Yazar:: Кузьма А. А. Анастасия Альбертовна
Baskı/Yayın Bilgisi: (2013)

О погрешности маятника с вибрирующим подвесом; Известия вузов. Приборостроение; Т. 16, № 1
Yazar:: Нестеренко В. П. Владимир Прокопьевич
Baskı/Yayın Bilgisi: (1973)

Исследование микроэлектромеханических емкостных преобразователей с пленочными элементами: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук; спец. 05.09.01
Yazar:: Ляпунов Д. Ю. Данил Юрьевич
Baskı/Yayın Bilgisi: (Томск, 2010)

Магнитное центрирование поплавковых гироскопов: обзорно-аналитическая информация
Baskı/Yayın Bilgisi: (Ленинград, [Б. и.], 1978)

Расчёт статически неопределимых сложных систем методом эквивалентных жёсткостей учебное пособие
Yazar:: Букатый С. А.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Самара, Самарский университет, 2022)

Расчет каркаса промышленного здания в вычислительном комплексе SCAD Office
Yazar:: Фарфель М. И.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, МИСИ – МГСУ, 2023)

Математическая модель активного магнитного подвеса; Молодежь и современные информационные технологии
Yazar:: Камышникова О. С.
Baskı/Yayın Bilgisi: (2018)

Нелинейная динамика микроэлектромеханических систем резонаторов в виде прямоугольных в плане сферических оболочек с учетом геометрической и физической нелинейности; Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. Инжиниринг георесурсов; Т. 328, № 11
Baskı/Yayın Bilgisi: (2017)

Основы проектирования и расчета гироскопических приборов: учебное пособие для вузов
Yazar:: Павлов В. А. Всеволод Александрович
Baskı/Yayın Bilgisi: (Ленинград, Судостроение, 1967)

Electromechanics and MEMS: textbook
Yazar:: Jones T. B. Thomas
Baskı/Yayın Bilgisi: (Cambridge, Cambridge University Press, 2013)

Наноробототехника: аспекты технологии; Стандарты и качество; № 5
Yazar:: Ананян М. Михаил
Baskı/Yayın Bilgisi: (2003)

Исследование динамики гирокомпаса с торсионным подвесом при линейной гармонической вибрации основания: Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук
Yazar:: Нестеренко В. П.
Baskı/Yayın Bilgisi: (Томск, 1972)

Гироскоп в кардановом подвесе
Yazar:: Николаи Е. Л. Евгений Леопольдович
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Наука, 1964)

Микроэлектромеханический гироскоп с промежуточными телами; Современные техника и технологии; Т. 1
Yazar:: Вторушин С. Е.
Baskı/Yayın Bilgisi: ()

Основные характеристики и параметры элементов макета гироскопа с газодинамическим подвесом шарового ротора; Вестник науки Сибири; № 2 (8)
Yazar:: Голиков А. Н. Алексей Никандрович
Baskı/Yayın Bilgisi: (2013)

Многослойные армированные оболочки: расчет пневматических шин
Yazar:: Григолюк Э. И. Эдуард Иванович
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Машиностроение, 1988)

Влияние деформации нитей на точность метода бифилярного подвеса; Известия вузов. Физика; № 4
Yazar:: Туркин В. В.
Baskı/Yayın Bilgisi: (1961)

Обработка выходного сигнала микроэлектромеханического гироскопа; Космическое приборостроение
Yazar:: Ло Ван Хао
Baskı/Yayın Bilgisi: (2015)

Mikroelektromechanisches systems (MEMS); Перспективы развития фундаментальных наук
Yazar:: Vtorushin S. E.
Baskı/Yayın Bilgisi: (2012)

Расчет параметров течения газа в каналах с шероховатой стенкой; Перспективы развития фундаментальных наук; Т. 1 : Физика
Yazar:: Кузнецов М. А.
Baskı/Yayın Bilgisi: (2017)

Исследование микроэлектромеханического датчика перемещения; Современные техника и технологии; Т. 1
Yazar:: Жидков А. П.
Baskı/Yayın Bilgisi: (2011)

Microelectromechanical accelerometer under mechanical impact conditions; Control and Communications (SIBCON)
Baskı/Yayın Bilgisi: (2016)

Микроэлектромеханические датчики давления в космических аппаратах; Космическое приборостроение
Yazar:: Ле Чунг Зунг
Baskı/Yayın Bilgisi: (2014)

Динамическая устойчивость упругих систем
Yazar:: Болотин В. В. Владимир Васильевич
Baskı/Yayın Bilgisi: (Москва, Гостехиздат, 1956)

Новые типы гироскопов
Yazar:: Малеев П. И. Павел Иванович
Baskı/Yayın Bilgisi: (Ленинград, Судостроение, 1971)

Development of Gyroscope with Gas-dynamic Suspension of Ball Rotor; Иностранный язык в контексте проблем профессиональной коммуникации
Yazar:: Kuzma A. A. Anastasiya Albertovna
Baskı/Yayın Bilgisi: (2015)

Проектирование стабилизатора видеокамеры; Неразрушающий контроль; Т. 2
Yazar:: Татарников Е. В.
Baskı/Yayın Bilgisi: (2016)

Магнитная левитация (активный магнитный подвес); Молодежь и современные информационные технологии; Т. 1
Yazar:: Камышникова О. С.
Baskı/Yayın Bilgisi: (2016)