Моделирование влияния технологических дефектов на характеристики упругих подвесов микроэлектромеханических систем
| Parent link: | Промышленные АСУ и контроллеры: научно-технический производственный журнал.— , 1999- № 7.— 2013.— [С. 60-66] |
|---|---|
| Egile nagusia: | |
| Erakunde egilea: | |
| Beste egile batzuk: | , |
| Gaia: | Заглавие с экрана В статье рассматриваются торсионные подвесы микроэлектромеханических систем (МЭМС). Проведен анализ влияния технологических несовершенств изготовления МЭМС на характеристики упругих подвесов. В результате компьютерного конструирования созданы параметрические 3D-модели торсионных подвесов. Методом конечных элементов определены формы колебаний торсионов различной формы. Выявлены параметры, оказывающие наибольшее влияние на собственные частоты и коэффициенты жесткости упругих подвесов МЭМС. In the paper considered springing elements of microelectromechanical systems (MEMS). The influence analysis of technological imperfections of MEMS manufacturing on the characteristics springing elements was presented. By means of computer-aided design parametric 3D-model of the springing elements were created. Using the finite element method the mode shapes torsions of different designs were defined. The parameters which have the greatest impact on the eigenfrequencies and stiffness coefficients of springing elements MEMS were defined. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Hizkuntza: | errusiera |
| Argitaratua: |
2013
|
| Gaiak: | |
| Sarrera elektronikoa: | http://elibrary.ru/item.asp?id=21893321 |
| Formatua: | Baliabide elektronikoa Liburu kapitulua |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=638161 |