Моделирование влияния технологических дефектов на характеристики упругих подвесов микроэлектромеханических систем; Промышленные АСУ и контроллеры; № 7
| Parent link: | Промышленные АСУ и контроллеры: научно-технический производственный журнал.— , 1999- № 7.— 2013.— [С. 60-66] |
|---|---|
| Hlavní autor: | |
| Korporativní autor: | |
| Další autoři: | , |
| Shrnutí: | Заглавие с экрана В статье рассматриваются торсионные подвесы микроэлектромеханических систем (МЭМС). Проведен анализ влияния технологических несовершенств изготовления МЭМС на характеристики упругих подвесов. В результате компьютерного конструирования созданы параметрические 3D-модели торсионных подвесов. Методом конечных элементов определены формы колебаний торсионов различной формы. Выявлены параметры, оказывающие наибольшее влияние на собственные частоты и коэффициенты жесткости упругих подвесов МЭМС. In the paper considered springing elements of microelectromechanical systems (MEMS). The influence analysis of technological imperfections of MEMS manufacturing on the characteristics springing elements was presented. By means of computer-aided design parametric 3D-model of the springing elements were created. Using the finite element method the mode shapes torsions of different designs were defined. The parameters which have the greatest impact on the eigenfrequencies and stiffness coefficients of springing elements MEMS were defined. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Jazyk: | ruština |
| Vydáno: |
2013
|
| Témata: | |
| On-line přístup: | http://elibrary.ru/item.asp?id=21893321 |
| Médium: | Elektronický zdroj Kapitola |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=638161 |
MARC
| LEADER | 00000naa0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 638161 | ||
| 005 | 20260715071701.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\network\2418 | ||
| 035 | |a RU\TPU\network\1823 | ||
| 090 | |a 638161 | ||
| 100 | |a 20141215d2013 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Моделирование влияния технологических дефектов на характеристики упругих подвесов микроэлектромеханических систем |f Т. Г. Нестеренко, Е. С. Барбин, А. Н. Коледа | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 66 (10 назв.)] | ||
| 330 | |a В статье рассматриваются торсионные подвесы микроэлектромеханических систем (МЭМС). Проведен анализ влияния технологических несовершенств изготовления МЭМС на характеристики упругих подвесов. В результате компьютерного конструирования созданы параметрические 3D-модели торсионных подвесов. Методом конечных элементов определены формы колебаний торсионов различной формы. Выявлены параметры, оказывающие наибольшее влияние на собственные частоты и коэффициенты жесткости упругих подвесов МЭМС. | ||
| 330 | |a In the paper considered springing elements of microelectromechanical systems (MEMS). The influence analysis of technological imperfections of MEMS manufacturing on the characteristics springing elements was presented. By means of computer-aided design parametric 3D-model of the springing elements were created. Using the finite element method the mode shapes torsions of different designs were defined. The parameters which have the greatest impact on the eigenfrequencies and stiffness coefficients of springing elements MEMS were defined. | ||
| 333 | |a Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса | ||
| 461 | |t Промышленные АСУ и контроллеры |o научно-технический производственный журнал |d 1999- | ||
| 463 | |t № 7 |v [С. 60-66] |d 2013 | ||
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a микроэлектромеханические системы | |
| 610 | 1 | |a собственные частоты | |
| 610 | 1 | |a коэффициенты жесткостей | |
| 610 | 1 | |a упругие подвесы | |
| 610 | 1 | |a технологические дефекты | |
| 700 | 1 | |a Нестеренко |b Т. Г. |c специалист в области машиностроения |c доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук |f 1946- |g Тамара Георгиевна |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\26585 |9 12268 | |
| 701 | 1 | |a Барбин |b Е. С. |c специалист в области точного приборостроения |c инженер Томского политехнического университета |f 1988- |g Евгений Сергеевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\29889 | |
| 701 | 1 | |a Коледа |b А. Н. |c специалист в области приборостроения |c инженер Томского политехнического университета |f 1985- |g Алексей Николаевич |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\31206 |9 15402 | |
| 712 | 0 | 2 | |a Томский политехнический университет |c 1991- |7 ca |8 rus |9 26305 |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20141215 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://elibrary.ru/item.asp?id=21893321 | |
| 942 | |c CF | ||