Моделирование влияния технологических дефектов на характеристики упругих подвесов микроэлектромеханических систем; Промышленные АСУ и контроллеры; № 7
| Parent link: | Промышленные АСУ и контроллеры: научно-технический производственный журнал.— , 1999- № 7.— 2013.— [С. 60-66] |
|---|---|
| Autor Principal: | |
| Autor Corporativo: | |
| Outros autores: | , |
| Summary: | Заглавие с экрана В статье рассматриваются торсионные подвесы микроэлектромеханических систем (МЭМС). Проведен анализ влияния технологических несовершенств изготовления МЭМС на характеристики упругих подвесов. В результате компьютерного конструирования созданы параметрические 3D-модели торсионных подвесов. Методом конечных элементов определены формы колебаний торсионов различной формы. Выявлены параметры, оказывающие наибольшее влияние на собственные частоты и коэффициенты жесткости упругих подвесов МЭМС. In the paper considered springing elements of microelectromechanical systems (MEMS). The influence analysis of technological imperfections of MEMS manufacturing on the characteristics springing elements was presented. By means of computer-aided design parametric 3D-model of the springing elements were created. Using the finite element method the mode shapes torsions of different designs were defined. The parameters which have the greatest impact on the eigenfrequencies and stiffness coefficients of springing elements MEMS were defined. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Idioma: | ruso |
| Publicado: |
2013
|
| Subjects: | |
| Acceso en liña: | http://elibrary.ru/item.asp?id=21893321 |
| Formato: | Electrónico Capítulo de libro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=638161 |
| Summary: | Заглавие с экрана В статье рассматриваются торсионные подвесы микроэлектромеханических систем (МЭМС). Проведен анализ влияния технологических несовершенств изготовления МЭМС на характеристики упругих подвесов. В результате компьютерного конструирования созданы параметрические 3D-модели торсионных подвесов. Методом конечных элементов определены формы колебаний торсионов различной формы. Выявлены параметры, оказывающие наибольшее влияние на собственные частоты и коэффициенты жесткости упругих подвесов МЭМС. In the paper considered springing elements of microelectromechanical systems (MEMS). The influence analysis of technological imperfections of MEMS manufacturing on the characteristics springing elements was presented. By means of computer-aided design parametric 3D-model of the springing elements were created. Using the finite element method the mode shapes torsions of different designs were defined. The parameters which have the greatest impact on the eigenfrequencies and stiffness coefficients of springing elements MEMS were defined. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
|---|