Моделирование формирования кристаллической структуры покрытия при магнетронном напылении; Известия вузов. Физика; Т. 52, № 12-2
| Parent link: | Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 52, № 12-2.— 2009.— [С. 89-91] |
|---|---|
| 1. Verfasser: | |
| Weitere Verfasser: | |
| Zusammenfassung: | Заглавие с титульного экрана В работе рассматривается дополненная имитационным алгоритмом кинетическая модель роста кристаллов на подложке без учета стадии зародышеобразования. Исследовано влияние начального расположения зародышей на конечную структуру покрытия, а также влияние параметров модели на средний состав покрытия. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
2009
|
| Schlagworte: | |
| Online-Zugang: | http://elibrary.ru/item.asp?id=15121098 |
| Format: | Elektronisch Buchkapitel |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=638017 |