Моделирование формирования кристаллической структуры покрытия при магнетронном напылении
| Parent link: | Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 52, № 12-2.— 2009.— [С. 89-91] |
|---|---|
| Autore principale: | |
| Altri autori: | |
| Riassunto: | Заглавие с титульного экрана В работе рассматривается дополненная имитационным алгоритмом кинетическая модель роста кристаллов на подложке без учета стадии зародышеобразования. Исследовано влияние начального расположения зародышей на конечную структуру покрытия, а также влияние параметров модели на средний состав покрытия. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Lingua: | russo |
| Pubblicazione: |
2009
|
| Soggetti: | |
| Accesso online: | http://elibrary.ru/item.asp?id=15121098 |
| Natura: | Elettronico Capitolo di libro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=638017 |