Моделирование формирования кристаллической структуры покрытия при магнетронном напылении
| Parent link: | Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 52, № 12-2.— 2009.— [С. 89-91] |
|---|---|
| Autor principal: | |
| Outros Autores: | |
| Resumo: | Заглавие с титульного экрана В работе рассматривается дополненная имитационным алгоритмом кинетическая модель роста кристаллов на подложке без учета стадии зародышеобразования. Исследовано влияние начального расположения зародышей на конечную структуру покрытия, а также влияние параметров модели на средний состав покрытия. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Idioma: | russo |
| Publicado em: |
2009
|
| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | http://elibrary.ru/item.asp?id=15121098 |
| Formato: | Recurso Eletrônico Capítulo de Livro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=638017 |
MARC
| LEADER | 00000naa0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 638017 | ||
| 005 | 20250124135353.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\network\2218 | ||
| 090 | |a 638017 | ||
| 100 | |a 20141121d2009 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Моделирование формирования кристаллической структуры покрытия при магнетронном напылении |f М. А. Миколайчук, А. Г. Князева | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с титульного экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 91 (2 назв.)] | ||
| 330 | |a В работе рассматривается дополненная имитационным алгоритмом кинетическая модель роста кристаллов на подложке без учета стадии зародышеобразования. Исследовано влияние начального расположения зародышей на конечную структуру покрытия, а также влияние параметров модели на средний состав покрытия. | ||
| 333 | |a Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса | ||
| 337 | |a Adobe Reader | ||
| 461 | |t Известия вузов. Физика |o научный журнал |f Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ) |d 1957- | ||
| 463 | |t Т. 52, № 12-2 |v [С. 89-91] |d 2009 | ||
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a ионно-плазменные покрытия | |
| 610 | 1 | |a имитационное моделирование | |
| 610 | 1 | |a рост | |
| 610 | 1 | |a кристаллы | |
| 610 | 1 | |a морфология поверхности | |
| 700 | 1 | |a Миколайчук |b М. А. |c физик |c ассистент Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук |f 1985- |g Михаил Александрович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\32755 | |
| 701 | 1 | |a Князева |b А. Г. |c российский физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1962- |g Анна Георгиевна |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25578 |9 11508 | |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20160510 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://elibrary.ru/item.asp?id=15121098 | |
| 942 | |c CF | ||