Оценка напряжений в покрытии, растущем на поверхности плоской пластины в неизотермических условиях; Известия вузов. Физика; Т. 52, № 12

Bibliografiske detaljer
Parent link:Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957-
Т. 52, № 12.— 2009.— [С. 54-60]
Hovedforfatter: Сорокова С. Н. Светлана Николаевна
Andre forfattere: Князева А. Г. Анна Георгиевна
Summary:Заглавие с титульного экрана
Сформулирована и исследована математическая модель роста покрытия при магнетронном напылении. В оценке средних механических напряжений учитывается вклад как термической, так и диффузионно-химической природы. Показано, что кинетика реакции на поверхности играет не меньшую роль в эволюции напряжений, чем соотношение механических свойств растущего покрытия и подложки.
Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Sprog:russisk
Udgivet: 2009
Fag:
Online adgang:http://elibrary.ru/item.asp?id=13023525
Format: Electronisk Book Chapter
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=638015

Lignende værker