Оценка напряжений в покрытии, растущем на поверхности плоской пластины в неизотермических условиях
| Parent link: | Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 52, № 12.— 2009.— [С. 54-60] |
|---|---|
| Main Author: | |
| Other Authors: | |
| Summary: | Заглавие с титульного экрана Сформулирована и исследована математическая модель роста покрытия при магнетронном напылении. В оценке средних механических напряжений учитывается вклад как термической, так и диффузионно-химической природы. Показано, что кинетика реакции на поверхности играет не меньшую роль в эволюции напряжений, чем соотношение механических свойств растущего покрытия и подложки. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Published: |
2009
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://elibrary.ru/item.asp?id=13023525 |
| Format: | Electronic Book Chapter |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=638015 |