Оценка напряжений в покрытии, растущем на поверхности плоской пластины в неизотермических условиях
| Parent link: | Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 52, № 12.— 2009.— [С. 54-60] |
|---|---|
| Autor principal: | |
| Otros Autores: | |
| Sumario: | Заглавие с титульного экрана Сформулирована и исследована математическая модель роста покрытия при магнетронном напылении. В оценке средних механических напряжений учитывается вклад как термической, так и диффузионно-химической природы. Показано, что кинетика реакции на поверхности играет не меньшую роль в эволюции напряжений, чем соотношение механических свойств растущего покрытия и подложки. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Lenguaje: | ruso |
| Publicado: |
2009
|
| Materias: | |
| Acceso en línea: | http://elibrary.ru/item.asp?id=13023525 |
| Formato: | Electrónico Capítulo de libro |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=638015 |
MARC
| LEADER | 00000naa0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 638015 | ||
| 005 | 20250124135053.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\network\2216 | ||
| 090 | |a 638015 | ||
| 100 | |a 20141121d2009 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Оценка напряжений в покрытии, растущем на поверхности плоской пластины в неизотермических условиях |f С. Н. Сорокова, А. Г. Князева | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с титульного экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 60 (7 назв.)] | ||
| 330 | |a Сформулирована и исследована математическая модель роста покрытия при магнетронном напылении. В оценке средних механических напряжений учитывается вклад как термической, так и диффузионно-химической природы. Показано, что кинетика реакции на поверхности играет не меньшую роль в эволюции напряжений, чем соотношение механических свойств растущего покрытия и подложки. | ||
| 333 | |a Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса | ||
| 337 | |a Adobe Reader | ||
| 461 | |t Известия вузов. Физика |o научный журнал |f Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ) |d 1957- | ||
| 463 | |t Т. 52, № 12 |v [С. 54-60] |d 2009 | ||
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a механические напряжения | |
| 610 | 1 | |a растущие покрытия | |
| 700 | 1 | |a Сорокова |b С. Н. |c специалист в области информатики и вычислительной техники |c доцент Томского политехнического университета, программист, кандидат физико-математических наук |f 1981- |g Светлана Николаевна |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25593 |9 11523 | |
| 701 | 1 | |a Князева |b А. Г. |c российский физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1962- |g Анна Георгиевна |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25578 |9 11508 | |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20160510 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://elibrary.ru/item.asp?id=13023525 | |
| 942 | |c CF | ||