Модель роста покрытия в условиях магнетронного напыления; Известия вузов. Физика; Т. 53, № 1

Podrobná bibliografie
Parent link:Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957-
Т. 53, № 1.— 2010.— [С. 76-81]
Hlavní autor: Князева А. Г. Анна Георгиевна
Další autoři: Шанин С. А. Сергей Александрович
Shrnutí:Заглавие с титульного экрана
Сформулирована и исследована математическая модель роста покрытия при магнетронном напылении. Исследовано влияние основных технологических и кинетических параметров на динамику роста покрытия.
Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Jazyk:ruština
Vydáno: 2010
Témata:
On-line přístup:http://elibrary.ru/item.asp?id=14339458
Médium: Elektronický zdroj Kapitola
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=637950

Podobné jednotky