Модель роста покрытия в условиях магнетронного напыления; Известия вузов. Физика; Т. 53, № 1

Detalles Bibliográficos
Parent link:Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957-
Т. 53, № 1.— 2010.— [С. 76-81]
Autor Principal: Князева А. Г. Анна Георгиевна
Outros autores: Шанин С. А. Сергей Александрович
Summary:Заглавие с титульного экрана
Сформулирована и исследована математическая модель роста покрытия при магнетронном напылении. Исследовано влияние основных технологических и кинетических параметров на динамику роста покрытия.
Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Idioma:ruso
Publicado: 2010
Subjects:
Acceso en liña:http://elibrary.ru/item.asp?id=14339458
Formato: MixedMaterials Electrónico Capítulo de libro
KOHA link:https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=637950

Títulos similares