Модель роста покрытия в условиях магнетронного напыления

Bibliographic Details
Parent link:	Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 53, № 1.— 2010.— [С. 76-81]
Main Author:	Князева А. Г. Анна Георгиевна
Other Authors:	Шанин С. А. Сергей Александрович
Summary:	Заглавие с титульного экрана Сформулирована и исследована математическая модель роста покрытия при магнетронном напылении. Исследовано влияние основных технологических и кинетических параметров на динамику роста покрытия. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Published:	2010
Subjects:	труды учёных ТПУ электронный ресурс математическое моделирование растущие покрытия магнетронные напыления
Online Access:	http://elibrary.ru/item.asp?id=14339458
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=637950

Internet