Модель роста покрытия в условиях магнетронного напыления; Известия вузов. Физика; Т. 53, № 1
| Parent link: | Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 53, № 1.— 2010.— [С. 76-81] |
|---|---|
| المؤلف الرئيسي: | |
| مؤلفون آخرون: | |
| الملخص: | Заглавие с титульного экрана Сформулирована и исследована математическая модель роста покрытия при магнетронном напылении. Исследовано влияние основных технологических и кинетических параметров на динамику роста покрытия. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| اللغة: | الروسية |
| منشور في: |
2010
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | http://elibrary.ru/item.asp?id=14339458 |
| التنسيق: | الكتروني فصل الكتاب |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=637950 |
MARC
| LEADER | 00000naa0a2200000 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | 637950 | ||
| 005 | 20250124113324.0 | ||
| 035 | |a (RuTPU)RU\TPU\network\2151 | ||
| 090 | |a 637950 | ||
| 100 | |a 20141117d2010 k||y0rusy50 ca | ||
| 101 | 0 | |a rus | |
| 102 | |a RU | ||
| 135 | |a drcn ---uucaa | ||
| 181 | 0 | |a i | |
| 182 | 0 | |a b | |
| 200 | 1 | |a Модель роста покрытия в условиях магнетронного напыления |f А. Г. Князева, С. А. Шанин | |
| 203 | |a Текст |c электронный | ||
| 300 | |a Заглавие с титульного экрана | ||
| 320 | |a [Библиогр.: с. 81 (8 назв.)] | ||
| 330 | |a Сформулирована и исследована математическая модель роста покрытия при магнетронном напылении. Исследовано влияние основных технологических и кинетических параметров на динамику роста покрытия. | ||
| 333 | |a Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса | ||
| 337 | |a Adobe Reader | ||
| 461 | |t Известия вузов. Физика |o научный журнал |f Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ) |d 1957- | ||
| 463 | |t Т. 53, № 1 |v [С. 76-81] |d 2010 | ||
| 610 | 1 | |a труды учёных ТПУ | |
| 610 | 1 | |a электронный ресурс | |
| 610 | 1 | |a математическое моделирование | |
| 610 | 1 | |a растущие покрытия | |
| 610 | 1 | |a магнетронные напыления | |
| 700 | 1 | |a Князева |b А. Г. |c российский физик |c профессор Томского политехнического университета, доктор физико-математических наук |f 1962- |g Анна Георгиевна |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\25578 |9 11508 | |
| 701 | 1 | |a Шанин |b С. А. |c физик |c программист, старший преподаватель Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук |f 1985- |g Сергей Александрович |3 (RuTPU)RU\TPU\pers\32709 |9 16595 | |
| 801 | 2 | |a RU |b 63413507 |c 20160510 |g RCR | |
| 856 | 4 | |u http://elibrary.ru/item.asp?id=14339458 | |
| 942 | |c CF | ||