Модель роста покрытия в условиях магнетронного напыления; Известия вузов. Физика; Т. 53, № 1
| Parent link: | Известия вузов. Физика: научный журнал/ Национальный исследовательский Томский государственный университет (ТГУ).— , 1957- Т. 53, № 1.— 2010.— [С. 76-81] |
|---|---|
| Päätekijä: | |
| Muut tekijät: | |
| Yhteenveto: | Заглавие с титульного экрана Сформулирована и исследована математическая модель роста покрытия при магнетронном напылении. Исследовано влияние основных технологических и кинетических параметров на динамику роста покрытия. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
| Kieli: | venäjä |
| Julkaistu: |
2010
|
| Aiheet: | |
| Linkit: | http://elibrary.ru/item.asp?id=14339458 |
| Aineistotyyppi: | Elektroninen Kirjan osa |
| KOHA link: | https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=637950 |
| Yhteenveto: | Заглавие с титульного экрана Сформулирована и исследована математическая модель роста покрытия при магнетронном напылении. Исследовано влияние основных технологических и кинетических параметров на динамику роста покрытия. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса |
|---|