Численное и экспериментальное исследование влияния технологических параметров на фазовый и химический состав карбидного покрытия, растущего в импульсной электродуговой плазме

Численное и экспериментальное исследование влияния технологических параметров на фазовый и химический состав карбидного покрытия, растущего в импульсной электродуговой плазме

Bibliographic Details
Parent link:	Химическая физика и мезоскопия: научное издание.— , 2000- Т. 14, № 4.— 2012.— [С. 525-535]
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) Институт физики высоких технологий (ИФВТ) Кафедра физики высоких технологий в машиностроении (ФВТМ)
Other Authors:	Шанин С. А. Сергей Александрович, Князева А. Г. Анна Георгиевна, Поболь И. Л. Игорь Леонидович, Дениженко А. Г. Анатолий Григорьевич
Summary:	Заглавие с экрана В работе построена математическая модель процесса осаждения покрытия. Проведено численное исследование влияния технологических параметров (скорость ионов, концентрация химических компонентов плазмы у подлодки и т.д.) на среднеинтегральные концентрации элементов и химических соединений в покрытии. Режим доступа: по договору с организацией-держателем ресурса
Language:	Russian
Published:	2012
Subjects:	электронный ресурс труды учёных ТПУ магнетронные напыления осаждение покрытия моделирование массоперенос
Online Access:	http://elibrary.ru/item.asp?id=18795299
Format:	Electronic Book Chapter
KOHA link:	https://koha.lib.tpu.ru/cgi-bin/koha/opac-detail.pl?biblionumber=637632

Internet

http://elibrary.ru/item.asp?id=18795299